[實(shí)用新型]一種納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021124021.1
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN212519532U
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王慶文;孫偉民;王磊;王永錦;王建軍;徐紀(jì)法;杜偉峰;樊榮
• 申請（專利權(quán)）人: 河南能微新材料科技股份有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;B82Y40/00
• 代理公司: 鄭州中科鼎佳專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41151
• 代理人: 蔡佳寧

1.一種納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，包含豎直設(shè)置的等離子炬本體和空氣制備吹送設(shè)備；所述等離子炬本體包含從內(nèi)到外同軸并間隙套設(shè)的送粉管（1）、內(nèi)層管（2）、中間管（3）、外層管（4）和用于電離惰性氣體產(chǎn)生等離子體的感應(yīng)線圈（6），所述外層管（4）上下端外側(cè)分別套設(shè)有上密封環(huán)座（10）和下密封環(huán)座（13），所述上密封環(huán)座（10）和下密封環(huán)座（13）均與外層管（4）之間設(shè)有用于密封的第一密封圈（12），其特征在于：所述感應(yīng)線圈（6）外側(cè)有間隙的套設(shè)有筒形的送風(fēng)玻璃罩（5），所述送風(fēng)玻璃罩（5）的底端敞口，送風(fēng)玻璃罩（5）的頂端與上密封環(huán)座（10）的底端密封固定，所述上密封環(huán)座（10）外側(cè)壁均勻環(huán)設(shè)有多個(gè)連通至送風(fēng)玻璃罩（5）內(nèi)腔的送風(fēng)口（14）；所述空氣制備吹送設(shè)備包含氣體分布器（7）、風(fēng)機(jī)（8）和用于制備潮濕空氣的加濕器（9），所述加濕器（9）的空氣出口與風(fēng)機(jī)（8）的進(jìn)口連接，所述風(fēng)機(jī)（8）的出口與氣體分布器（7）的總進(jìn)口連接，所述氣體分布器（7）對應(yīng)送風(fēng)口（14）設(shè)有多個(gè)支路出口，所述支路出口與相應(yīng)送風(fēng)口通過軟管連通；靠近下密封環(huán)座（13）的中間管和外層管之間設(shè)有用于阻擋等離子火焰光的擋焰環(huán)套（11）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述上密封環(huán)座（10）的底端面設(shè)有適配送風(fēng)玻璃罩（5）頂端插入的凹槽，所述凹槽內(nèi)壁與送風(fēng)玻璃罩（5）外壁之間設(shè)有第二密封圈（15），所述送風(fēng)玻璃罩（5）頂端外側(cè)套設(shè)有與上密封環(huán)座（10）外端面可拆卸固定連接，并用于壓緊第二密封圈（15）的密封壓板（16）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述送風(fēng)玻璃罩（5）外壁沿其軸向設(shè)有多排對應(yīng)于感應(yīng)線圈（6）的通孔，每排通孔數(shù)量設(shè)為若干并沿送風(fēng)玻璃罩（5）周向均勻分布。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述送風(fēng)玻璃罩（5）內(nèi)壁與感應(yīng)線圈（6）的外壁間距小于30mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述下密封環(huán)座（13）下端面中央設(shè)有用于中間管（3）穿過的臺階孔，所述擋焰環(huán)套（11）與中間管（3）之間留有間隙，所述擋焰環(huán)套（11）的下端向外直角延伸設(shè)有適配臺階孔沉孔的圓環(huán)，所述擋焰環(huán)套（11）的上端穿過臺階孔通孔并高于位于下密封環(huán)座（13）的第一密封圈（12）；所述臺階孔的外緣面可拆卸固定連接有用于壓緊固定擋焰環(huán)套（11）的環(huán)形壓板（18），所述環(huán)形壓板（18）與中間管（3）之間留有間隙。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述擋焰環(huán)套（11）分別與外層管（4）和臺階孔通孔之間均留有間隙，所述擋焰環(huán)套（11）的圓環(huán)上設(shè)有豎直的通氣孔（17），所述臺階孔的臺階面下沉設(shè)有用于連通通氣孔（17）和外層管內(nèi)腔的斜角，所述環(huán)形壓板（18）與通氣孔（17）外側(cè)的圓環(huán)表面對應(yīng)抵觸。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米粉體制造用帶有放電保護(hù)裝置的射頻等離子炬，其特征是：所述加濕器包含緩沖管（902）、加熱水箱（907）和控制柜；所述加熱水箱（907）側(cè)壁安裝有電加熱裝置（908）、液位計(jì)和水溫檢測裝置，所述加熱水箱（907）的底部設(shè)有排水管，所述排水管上安裝有排水閥，所述加熱水箱（907）的頂部設(shè)有進(jìn)水管、蒸汽出管和泄壓管，所述進(jìn)水管、蒸汽出管和泄壓管上分別安裝有電磁閥、第一電動調(diào)節(jié)閥（906）和開關(guān)閥；所述緩沖管（902）的兩端分別設(shè)有空氣進(jìn)管和空氣出管，所述空氣進(jìn)管上安裝有第二電動調(diào)節(jié)閥（901）；所述緩沖管（902）靠近進(jìn)風(fēng)管一端的管壁通過蒸汽出管與加熱水箱（907）連通，所述緩沖管（902）的中部管壁設(shè)有用于為緩沖管（902）內(nèi)空氣降溫的冷卻裝置（903），所述緩沖管（902）的另一端管壁安裝有第一溫度探測器（904）和第一濕度探測器（905）；所述電加熱裝置（908）、液位計(jì)、水溫檢測裝置、電磁閥、第一電動調(diào)節(jié)閥（906）、第二電動調(diào)節(jié)閥（901）、第一溫度探測器（904）、第一濕度探測器（905）分別與控制柜信號連接。