[實用新型]一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置

有效

• 申請號: 202021121132.7
• 申請日: 2020-06-17
• 公開（公告）號: CN212559468U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 劉奕豐;胡侃中;吳俊賢;李文斌;鄭義達;駱彥成
• 申請（專利權）人: 福建天甫電子材料有限公司
• 主分類號: C01B17/90
• 分類號: C01B17/90;B08B3/02
• 代理公司: 廈門原創專利事務所(普通合伙) 35101
• 代理人: 徐東峰

本實用新型公開了一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置，包括第一除霧器和第二除霧器，所述第二除霧器位于第一除霧器的上方，所述第一除霧器的下方設有第一沖洗管道，所述第一除霧器和第二除霧器之間設有兩個第二沖洗管道，兩個所述第二沖洗管道相遠離的一側和第一沖洗管道靠近的第一除霧器的一側均設有若干通過軟管連接的噴頭，所述噴頭的兩側均設有第一轉軸和第一固定板，所述第一固定板與相對應的第一沖洗管道或者第二沖洗管道固定連接。本實用新型所述的一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置，第一除霧器和第二除霧器可以對三氧化硫氣體除霧，需要對第一除霧器和第二除霧器進行清理時，可以使得噴頭來回擺動，使得清洗效果更佳，便于實際使用。

技術領域

本實用新型涉及除霧設備技術領域，特別涉及一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置。

背景技術

電子級硫酸又稱超純硫酸，屬于超凈高純試劑。是工業上用量最大的濕電子化學，主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蝕，印刷電路板的腐蝕和清洗，可有效除去晶片上雜志顆粒、無機殘留物和碳沉積物。除霧器主要是由波形葉片、板片、卡條等固定裝置組成，在濕法脫硫，吸收塔在運行過程中，易產生粒徑為10-60微米的“霧”，“霧”不僅含有水分，它還溶有硫酸、硫酸鹽、二氧化硫等，同時也造成風機、熱交換器及煙道的玷污和嚴重腐蝕。在生產制造中，三氧化硫蒸發后要進入除霧器除雜，然而，雜質容易在除霧器表面結垢，而現有技術中也只是通過噴頭對除霧器進行噴水清洗，清洗效果不佳。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置，可以有效解決背景技術中的問題。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：

一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置，包括第一除霧器和第二除霧器，所述第二除霧器位于第一除霧器的上方，所述第一除霧器的下方設有第一沖洗管道，所述第一除霧器和第二除霧器之間設有兩個第二沖洗管道，兩個所述第二沖洗管道相遠離的一側和第一沖洗管道靠近的第一除霧器的一側均設有若干通過軟管連接的噴頭，所述噴頭的兩側均設有第一轉軸和第一固定板，所述第一固定板與相對應的第一沖洗管道或者第二沖洗管道固定連接，所述第一轉軸與噴頭固定連接，所述第一轉軸的一端貫穿第一固定板，且所述第一轉軸與第一固定板的貫穿處設有軸承，相鄰兩個所述第一轉軸之間通過聯軸器連接，其中一個所述第一轉軸的一端固定連接有齒輪，所述齒輪的下方設有活動板，所述活動板的頂部固定連接有與齒輪相配合的齒板，所述活動板的底部設有支撐組件，所述活動板的頂部設有驅動組件，所述第一除霧器、第二除霧器、第一沖洗管道和第二沖洗管道通過外接除霧管道固定連接。

優選的，所述支撐組件包括設置于活動板底部的支撐板，所述支撐板的頂部開設有滑槽，所述滑槽內設有滑塊，所述滑塊的頂部與活動板的底部固定連接，所述支撐板與相對應的第一沖洗管道或者第二沖洗管道固定連接，所述第一沖洗管道和第二沖洗管道上均固定連接有支撐柱，所述支撐柱的一端與支撐板固定連接。

優選的，所述滑槽和滑塊的橫截面為T形結構。

優選的，所述驅動組件包括設置于活動板頂部的矩形環，所述矩形環與活動板固定連接，所述第一沖洗管道和第二沖洗管道上均固定連接有第二固定板，所述第二固定板的一側固定連接有電機，所述電機的輸出端設有第二轉軸，所述第二轉軸的一端固定連接有轉盤，所述轉盤的一側固定連接有驅動桿，且所述驅動桿位于矩形環內。

優選的，所述電機外接控制開關和電源。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：通過設置第一除霧器、第二除霧器、第一沖洗管道、第二沖洗管道、噴頭、第一轉軸、聯軸器、第一固定板、軸承、齒輪、活動板、齒板、支撐組件和驅動組件的配合作用，第一除霧器和第二除霧器可以對三氧化硫氣體除霧，需要對第一除霧器和第二除霧器進行清理時，可以使得噴頭來回擺動，使得清洗效果更佳，便于實際使用。

附圖說明

圖1為本實用新型一種電子級三氧化硫氣體除霧裝置的整體結構示意圖；