[實用新型]等離子發生器

有效

• 申請號: 202021108735.3
• 申請日: 2020-06-15
• 公開（公告）號: CN212413499U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 陳培培;高銳;方易劍
• 申請（專利權）人: 新奧科技發展有限公司
• 主分類號: H05H1/34
• 分類號: H05H1/34
• 代理公司: 北京開陽星知識產權代理有限公司 11710
• 代理人: 楊中鶴

1.一種等離子發生器，其特征在于，包括同軸設置的陰極組件(1)、陽極(50)和進氣環(60)，所述陰極組件(1)包括：

陰極(30)；

中空的殼體(10)，所述殼體(10)的第一端與所述陽極(50)之間形成放電室(70)，所述進氣環(60)用于向所述放電室(70)輸送工質氣體，所述陽極(50)上設有與所述放電室(70)連通的弧焰出口(51)；

進給桿(20)，所述進給桿(20)的第一端由所述殼體(10)的第二端插入到所述殼體(10)的內部，所述進給桿(20)的第一端設有用于安裝所述陰極(30)的安裝部，所述殼體(10)的第一端設有可供所述陰極(30)插入的通孔，所述進給桿(20)能夠沿著所述殼體(10)的長度方向移動。

2.根據權利要求1所述的等離子發生器，其特征在于，所述陽極(50)朝向所述殼體(10)的一側具有擴展部(52)，所述殼體(10)的第一端伸入所述擴展部(52)并與所述擴展部(52)之間形成所述放電室(70)，所述殼體(10)的外周與所述擴展部(52)之間形成間隙，所述進氣環(60)用于向所述間隙輸送所述工質氣體。

3.根據權利要求2所述的等離子發生器，其特征在于，所述擴展部(52)沿著朝向所述殼體(10)的方向內徑逐漸增加，所述弧焰出口(51)與所述擴展部(52)的遠離所述殼體(10)的一端連通，且所述弧焰出口(51)與所述陽極(50)同軸設置。

4.根據權利要求1所述的等離子發生器，其特征在于，還包括驅動設備(40)，所述驅動設備與所述進給桿(20)的第二端連接，所述驅動設備(40)用于帶動所述進給桿(20)沿著所述殼體(10)的長度方向移動。

5.根據權利要求4所述的等離子發生器，其特征在于，所述驅動設備(40)包括步進電機，所述步進電機的輸出軸與所述進給桿(20)的第二端連接，所述進給桿(20)與所述殼體(10)的第二端螺紋配合，所述步進電機相對于所述等離子發生器的基座沿著所述殼體(10)的長度方向移動。

6.根據權利要求4所述的等離子發生器，其特征在于，所述驅動設備(40)包括步進電機，所述步進電機的輸出軸與所述進給桿(20)的第二端連接，所述進給桿(20)與所述殼體(10)的第二端螺紋配合，所述步進電機的輸出軸的端部設有第一連接部，所述進給桿(20)的第二端設有第二連接部，所述第一連接部和所述第二連接部沿著所述殼體(10)的周向方向限位配合且沿著所述殼體(10)的長度方向滑動配合。

7.根據權利要求4所述的等離子發生器，其特征在于，所述驅動設備(40)包括電動推桿，所述電動推桿的輸出軸與所述進給桿(20)的第二端連接，所述進給桿(20)與所述殼體(10)的第二端滑動配合，所述電動推桿固定設置在所述等離子發生器的基座上。

8.根據權利要求1至7任一項所述的等離子發生器，其特征在于，所述殼體(10)的內部呈階梯孔狀，所述階梯孔的大孔部靠近所述殼體(10)的第一端，所述階梯孔的小孔部靠近所述殼體(10)的第二端，所述階梯孔的臺階部朝向所述大孔部的一側延伸設有分水筒(14)，所述分水筒(14)與所述殼體(10)的第一端之間形成間隙，所述分水筒(14)與所述進給桿(20)之間形成進水通道，所述殼體(10)上設有與所述進水通道連通的進水管(15)，所述分水筒(14)與所述大孔部之間形成出水通道，所述殼體(10)上設有與所述出水通道連通的出水管(16)。

9.根據權利要求8所述的等離子發生器，其特征在于，所述殼體(10)的內壁與所述進給桿(20)之間設有第一密封圈(17)，所述第一密封圈(17)設置在所述進水管(15)與所述進水通道的接口處朝向所述殼體(10)的第二端的一側。

10.根據權利要求8所述的等離子發生器，其特征在于，所述殼體(10)的內壁設有可供所述陰極(30)插入的第二密封圈(18)。