[實(shí)用新型]噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021104502.6
• 申請(qǐng)日: 2020-06-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212713746U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-03-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于葛亮;張錦;劉偉銘;康斯坦丁·諾沃舍洛夫;孫正乾;楊金東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫盈芯半導(dǎo)體科技有限公司;北京大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良;涂三民

1.一種噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置，其特征是：它包括噴淋管（1）與噴淋頭（2），噴淋管（1）的下端部固定有噴淋頭（2），噴淋管（1）的中段為具有螺旋管結(jié)構(gòu)的預(yù)熱區(qū)（11），在噴淋頭（2）的底板上開(kāi)設(shè)有噴淋孔（21）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置，其特征是：所述預(yù)熱區(qū)（11）的內(nèi)徑小于噴淋管（1）的上段內(nèi)徑，預(yù)熱區(qū)（11）的內(nèi)徑小于噴淋管（1）的下段內(nèi)徑，噴淋管（1）的上段與下段的內(nèi)徑相等。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置，其特征是：在噴淋管（1）的上段的外圓上固定有安裝盤(pán)（3）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置，其特征是：在從上往下的方向上，所述噴淋頭（2）的內(nèi)徑呈逐漸增大設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴淋式進(jìn)氣CVD的垂直噴淋裝置，其特征是：所述噴淋孔（21）的橫截面積之和小于噴淋管（1）的入口端面積。