[實(shí)用新型]一種沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021100994.1
• 申請(qǐng)日: 2020-06-15
• 公開（公告）號(hào): CN212404274U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪勛;張春偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇協(xié)鑫特種材料科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/44
• 分類號(hào): C23C16/44
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 徐芝強(qiáng);胡建華

1.一種沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，包括爐體(1)、內(nèi)爐筒(6)、排氣管(3)；

所述排氣管(3)的底端與內(nèi)爐筒(6)的出氣口連通，并通過底部的石墨鎖緊環(huán)(5)將排氣管(3)的底端卡接在內(nèi)爐筒(6)內(nèi)部；

所述排氣管(3)頂端與上部密封環(huán)(2)固定連接，通過上部密封環(huán)(2)與爐體(1)的反應(yīng)氣體出氣口(13)下方的內(nèi)壁貼緊，保證密封；從而使得內(nèi)爐筒(6)中的反應(yīng)氣體經(jīng)排氣管(3)直接進(jìn)入反應(yīng)氣體出氣口(13)后排出；

所述排氣管(3)的外壁套有壓縮彈簧(4)，所述壓縮彈簧(4)被壓縮在排氣管(3)頂部與內(nèi)爐筒(6)之間，通過壓縮彈簧(4)的彈性張力，使得排氣管(3)和上部密封環(huán)(2)與反應(yīng)氣體出氣口(13)下方的爐體內(nèi)壁貼緊；當(dāng)內(nèi)爐筒(6)因受熱或冷卻發(fā)生膨脹或者收縮時(shí)，受彈簧的彈性張力，內(nèi)爐筒(6)的出氣口在排氣管(3)外壁上下滑動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述排氣管(3)的外壁設(shè)有外螺紋，石墨鎖緊環(huán)(5)設(shè)有內(nèi)螺紋，石墨鎖緊環(huán)(5)采用螺紋連接在排氣管(3)的底端，通過上下轉(zhuǎn)動(dòng)石墨鎖緊環(huán)(5)，調(diào)節(jié)排氣管(3)的高度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述上部密封環(huán)(2)下端帶有內(nèi)止口，排氣管(3)上端帶有外止口，通過內(nèi)、外止口對(duì)接使得上部密封環(huán)(2)和排氣管(3)固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述爐體(1)內(nèi)壁與內(nèi)爐筒(6)外壁之間，充填有保護(hù)氣體；所述爐體(1)的底部分別設(shè)有反應(yīng)氣體進(jìn)氣口(11)和保護(hù)氣體進(jìn)氣口(12)，爐體(1)的頂部設(shè)有反應(yīng)氣體出氣口(13)和保護(hù)氣體出氣口(14)；反應(yīng)氣體進(jìn)氣口(11)、反應(yīng)氣體出氣口(13)與內(nèi)爐筒(6)連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述爐體(1)的內(nèi)壁設(shè)有電阻式加熱器(7)，其以圓環(huán)狀環(huán)繞整個(gè)內(nèi)爐筒(6)，通過熱輻射，加熱內(nèi)爐筒(6)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述內(nèi)爐筒(6)的底部設(shè)有用于支撐待沉積石墨件(8)的支撐柱。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積爐熱場(chǎng)頂蓋密封裝置，其特征在于，所述爐體(1)內(nèi)壁涂有隔熱層，用于隔絕加熱器的熱輻射；外壁設(shè)有水冷夾套。