[實用新型]一種石英晶體定位鍍膜治具

有效

• 申請號: 202021035346.2
• 申請日: 2020-06-09
• 公開（公告）號: CN213086096U
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 陳全根;胡志軍;葉國萍
• 申請（專利權）人: 匯隆電子（金華）有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/34;C23C14/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型涉及石英晶體、電子元件制造裝置領域，具體為一種石英晶體定位鍍膜治具。包括托架和鍍膜夾具；其中：所述托架整體呈板狀，包括載放底座，所述載放底座上設有若干條均勻設置的滑插安裝條，所述滑插安裝條兩兩之間形成滑插槽，所述滑插槽中設置有若干對磁石定位塊，磁石定位塊與磁石定位塊之間的距離≠0cm，鍍膜夾具底部插入每對磁石定位塊形成的夾縫中被立直固定；通過采用滑槽的方式，安裝石英晶片鍍膜夾具時，只需將石英晶片鍍膜夾具沿著滑插安裝條的滑插槽下滑至底部即可完成安裝，在需要卸下石英晶片鍍膜夾具時，只需將石英晶片鍍膜夾具沿著滑插安裝條的滑插槽上滑出取出即可，便于操作者快速裝卸鍍膜夾具，且保證了鍍膜質量。

技術領域

本實用新型涉及石英晶體、電子元件制造裝置領域，具體為一種石英晶體定位鍍膜治具。

背景技術

現有技術下石英晶體會需要經過濺射鍍膜工藝，將制作好的石英晶體載放夾具上，圖2所提供的鍍膜夾具適用于濺射鍍膜工藝，由于濺射鍍膜工藝需要有一個托架，鍍膜夾具需要通過螺栓固定的方式固定在托架上，而托架是方形結構，因此，諧振器生產廠家在使用鍍膜夾具，一個托架通常承載多片鍍膜夾具，這種夾具同樣造成成本的上升而且效率提升明顯。所以需要一種提高鍍膜效率的夾具，如現有技術中的CN201821952266.6一種磁控濺射鍍膜治具,包括支架，支架兩端設有安裝槽，支架本體中間均勻開有若干鍍膜孔，鍍膜孔邊緣設有卡緊階梯，鍍膜邊緣設有若干壓槽，壓槽一側對應設有卡槽，壓槽內部壓緊有卡墩，卡墩內部固定有彈簧，彈簧內插有螺桿，螺桿底部與壓槽底部固定，螺桿頂端旋緊有螺母，螺母下端與彈簧過盈貼合，結構簡單，操作方便，能有效的固定鏡片，大大提高了鍍膜效率，較為實用。

發明內容

本實用新型設計的目的是提供一種石英晶體定位鍍膜治具，定位插放能力強，能提高鍍膜生產效率，具有多種用途的適應能力，能自我隔開距離。

本實用新型是通過下述技術方案實現的：一種石英晶體定位鍍膜治具，包括托架和鍍膜夾具；其中：所述托架整體呈板狀，包括載放底座，所述載放底座上設有若干條均勻設置的滑插安裝條，所述滑插安裝條兩兩之間形成滑插槽，所述滑插槽中設置有若干對磁石定位塊，磁石定位塊與磁石定位塊之間的距離≠0cm，鍍膜夾具底部插入每對磁石定位塊形成的夾縫中被立直固定；

所述鍍膜夾具包括山字架、T字夾板，L字夾板，所述山字架設置至少一個或多個陣列整體塑形連接；山字架的中央豎向塑形設置T插枝板，兩個邊側設置L插枝板，所述T字夾板通過夾合螺絲正反設置T字夾板形成T字夾滑槽架，所述L插枝板通過夾合螺絲正反設置L插枝板形成側邊夾滑槽架，T字夾滑槽架和側邊夾滑槽架插接設置石英載放陣列板。

作為優選，所述石英陣列板包括固定板和面蓋板，所述固定板和所述面蓋板之間自下而上依次貼合有下電極板、晶片限位板和上電極板；所述晶片限位板上開設有多個晶片限位孔，所述上電極板和所述下電極板在與所述晶片滑插槽對應處設有電極孔。

作為優選，所述鍍膜夾具沿著所述滑插槽安裝到所述托架上。

作為優選，所述晶片限位孔與與其相對應的上下電極板的電極孔組成一個石英晶片鍍膜工位。

作為一種優選的方案，所述滑插安裝條的寬度≤10 mm。由于在每次鍍膜時滑插安裝條都會鍍上金屬，因此本方案通過限定安裝條的寬度，降低鍍膜材料的無效耗用率。

作為優選，所述鍍膜夾具可以設置橫向插入托架中，也可以是縱向插入托架中。

作為優選，所述山字架高度為22cm，山字架的兩相對的T字夾板所述晶片滑插槽的寬度為10.5cm。

作為優選，所述滑插安裝條為不銹鋼鋼條。

作為優選，至少位于兩端的滑插安裝條的頂端設有倒角。

作為優選，所述滑插安裝條的數量為4條，T字夾板兩條，L字夾板兩條。