[實用新型]一種可測量單晶硅片平整度的裝置

有效

• 申請號: 202021018549.0
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN212409675U
• 公開（公告）日: 2021-01-26
• 發明（設計）人: 王德喜
• 申請（專利權）人: 天津萊昌電子科技有限公司
• 主分類號: G01B21/30
• 分類號: G01B21/30
• 代理公司: 北京久維律師事務所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.一種可測量單晶硅片平整度的裝置，包括工作臺（5），其特征在于：所述工作臺（5）頂端中部固定設置有放置板（11），所述工作臺（5）前側右側端固定設置有控制面板（7），所述工作臺（5）頂端兩側均固定設置有伸縮安裝桿（8），所述伸縮安裝桿（8）頂端之間固定設置有調節桿（10），所述調節桿（10）外部右側活動設置有調節塊（9），所述調節塊（9）底端固定設置有固定套桿（12），所述固定套桿（12）底端活動設置有固定桿（16），所述固定桿（16）底端固定設置有導輪（6），所述固定桿（16）頂端伸在固定套桿（12）內部，所述固定桿（16）頂端與固定套桿（12）內部頂端之間固定設置有復位彈簧（14），所述固定套桿（12）內部兩側均固定設置有接觸面板（13），所述固定桿（16）外部上端固定設置有電子測量頭（15），所述電子測量頭（15）兩側均與接觸面板（13）活動接觸，所述接觸面板（13）、電子測量頭（15）均通過導線與控制面板（7）電性連接。

2.根據權利要求1所述的一種可測量單晶硅片平整度的裝置，其特征在于：所述工作臺（5）底端固定設置有固定框（2），所述固定框（2）內部底端通過安裝座固定設置有電機（4），所述電機（4）的輸出端固定設置有轉桿（3），所述轉桿（3）頂端穿過工作臺（5）與放置板（11）底端固定連接，所述固定框（2）內部一側固定設置有蓄電池（1），所述控制面板（7）通過導線分別與蓄電池（1）、電機（4）電性連接，所述蓄電池（1）通過導線與電機（4）電性連接。

3.根據權利要求1所述的一種可測量單晶硅片平整度的裝置，其特征在于：所述工作臺（5）中部開設有轉孔，所述工作臺（5）底端中部固定設置有軸承。

4.根據權利要求1所述的一種可測量單晶硅片平整度的裝置，其特征在于：所述放置板（11）底端四周固定設置有環型滑環（18），所述工作臺（5）頂端四周開設有環型滑槽（17）且環型滑環（18）與環型滑槽（17）內部滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種可測量單晶硅片平整度的裝置，其特征在于：所述放置板（11）頂端固定設置有橡膠層。

6.根據權利要求2所述的一種可測量單晶硅片平整度的裝置，其特征在于：所述固定框（2）頂端四周與工作臺（5）之間均固定設置有連接軸板。