[實用新型]一種光刻機硅片盛放盒

有效

• 申請號: 202021017693.2
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN212905894U
• 公開（公告）日: 2021-04-06
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 徐一鳴
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻機硅片盛放盒，包括盒體邊框（1），其特征在于：

所述盒體邊框（1）中部焊接有窗板架（2），所述窗板架（2）上端固定連接有窗板（6），所述窗板（6）與盒體邊框（1）上端邊緣卡接，所述窗板（6）表面開槽設置有窗槽（5）；

所述盒體邊框（1）內側嵌入設置有抬升架（8），所述抬升架（8）上表面排列有若干個硅片框（3），所述硅片框（3）之間相鄰設置有分隔頁板（4），所述抬升架（8）底端嵌接有襯板（9）；

所述盒體邊框（1）底端中部固定有抬升座（12），所述抬升座（12）下端貫穿設置有軸頭（10），所述軸頭（10）上端固定有套軸軸節（14），所述套軸軸節（14）上端固定有螺桿（13），所述螺桿（13）上端螺紋連接有連接頭（11），所述連接頭（11）貫穿過襯板（9），且所述連接頭（11）與抬升架（8）固定。

2.根據權利要求1所述的一種光刻機硅片盛放盒,其特征在于：所述硅片框（3）為凹口型塑殼框，所述硅片框（3）與分隔頁板（4）之間上端設置有若干個凸塊（7），所述凸塊（7）與窗板（6）下表面固定連接。

3.根據權利要求2所述的一種光刻機硅片盛放盒,其特征在于：所述凸塊（7）下端凸出形成有弧形頭。

4.根據權利要求1所述的一種光刻機硅片盛放盒,其特征在于：所述襯板（9）與抬升架（8）左右兩側邊緣間卡接有翼緣板，所述翼緣板與盒體邊框（1）內壁滑動連接。

5.根據權利要求1所述的一種光刻機硅片盛放盒,其特征在于：所述軸頭（10）底端開口設置有軸孔，所述軸頭（10）通過螺桿（13）與連接頭（11）轉動連接。

6.根據權利要求1所述的一種光刻機硅片盛放盒,其特征在于：所述連接頭（11）為凸型軸管件，所述連接頭（11）外側與襯板（9）之間設置有若干圈壓簧圈，所述壓簧圈與連接頭（11）套接。