[實(shí)用新型]一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021016845.7
• 申請(qǐng)日: 2020-06-05
• 公開（公告）號(hào): CN211907404U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王德喜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津萊昌電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/66
• 代理公司: 北京久維律師事務(wù)所 11582
• 代理人: 邢江峰

1.一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，包括底架（7），其特征在于：所述底架（7）頂端四角處均固定設(shè)置有固定桿（8），所述底架（7）頂端中部固定設(shè)置有顯光掃描裝置（3），所述底架（7）頂端前側(cè)右側(cè)的固定桿（8）外部一側(cè)固定設(shè)置有控制面板（9），兩側(cè)所述固定桿（8）頂端相對(duì)一側(cè)均活動(dòng)設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)輪（5），所述轉(zhuǎn)動(dòng)輪（5）之間均固定設(shè)置有輸送帶（6），所述輸送帶（6）外部均固定設(shè)置有若干固定塊（16），所述底架（7）頂端前側(cè)右端的固定桿（8）右側(cè)上端固定設(shè)置有安裝框（2），所述安裝框（2）內(nèi)部一側(cè)通過(guò)安裝座固定設(shè)置有電機(jī)（1），所述電機(jī)（1）的輸出端固定設(shè)置有轉(zhuǎn)桿（4），所述轉(zhuǎn)桿（4）在遠(yuǎn)離電機(jī)（1）的一端依次穿過(guò)安裝框（2）、固定桿（8）和前側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)輪（5）之間，所述控制面板（9）通過(guò)導(dǎo)線分別與顯光掃描裝置（3）和電機(jī)（1）電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，其特征在于：所述固定塊（16）相對(duì)一側(cè)在靠近輸送帶（6）的一端均固定設(shè)置有固定夾桿（14），所述固定夾桿（14）在遠(yuǎn)離固定塊（16）的一端均固定設(shè)置有固定夾板（15），所述固定塊（16）相對(duì)一側(cè)在位于固定夾桿（14）的一端均固定設(shè)置有活動(dòng)夾桿（13），所述活動(dòng)夾桿（13）在遠(yuǎn)離固定塊（16）的一端均固定設(shè)置有活動(dòng)夾板（11），所述固定夾桿（14）中部在靠近活動(dòng)夾桿（13）的相對(duì)位置均固定設(shè)置有限位夾套（12）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，其特征在于：所述固定夾板（15）與活動(dòng)夾板（11）在遠(yuǎn)離固定塊（16）的一端相對(duì)一側(cè)均開設(shè)有夾持口（10）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，其特征在于：所述夾持口（10）內(nèi)部均固定設(shè)置有橡膠墊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，其特征在于：所述安裝框（2）內(nèi)部和固定桿（8）在位于轉(zhuǎn)桿（4）的相對(duì)位置開設(shè)有轉(zhuǎn)孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種可檢查單晶硅片裂隙的夾送裝置，其特征在于：所述安裝框（2）內(nèi)部在位于轉(zhuǎn)桿（4）的相對(duì)位置固定設(shè)置有軸承。