[實用新型]硅片校正機構

有效

• 申請號: 202021013605.1
• 申請日: 2020-06-05
• 公開（公告）號: CN213340324U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 孫松
• 申請（專利權）人: 蘇州邁為科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

本實用新型涉及一種硅片校正機構，包括：底座；兩個推片件，均可滑動地設在所述底座上，兩個所述推片件相對設置；運動件，可滑動地設在所述底座上，所述運動件上開設有兩個運動滑軌，兩個所述推片件分別滑動與兩個所述運動滑軌滑動連接，所述運動件在第一方向上運動時，帶動兩個所述推片件朝相互靠近或相互遠離；兩個所述推片件用于在相互靠近時對硅片夾持校正；驅動裝置，連接所述運動件，用于帶動所述運動件在所述第一方向上運動。現有技術中需要兩個氣缸連接兩個推片件，本實施方式中通過運動件的設置，使得單個氣缸可以帶動兩個推片件相互靠近或相互遠離，節省了硅片校正機構的成本。

技術領域

本實用新型涉及硅片校正技術領域，特別是涉及硅片校正機構。

背景技術

隨著經濟的發展，社會的進步，光伏產業在國內如火如荼。其中生產硅片的設備需求量也在增加，同時對設備的日產能提出更高的要求。國內的設備廠家越來越朝向節省成本、使用方便、提高產能等特點的方向發展。在硅片的制絨、刻蝕、PECVD和印刷等工藝環節中，對于硅片的校正是每道工序的基本需求。通常的硅片校正機構是由2個氣缸組成，在硅片的兩側進行推片，達到校正的目的。現有技術中的硅片校正機構存在以下缺點：氣缸伸出然后縮回才可以完成一個校正過程，效率過低。

實用新型內容

基于此，有必要針對上述問題，提供一種硅片校正機構，可以大幅度提升校正效率。

一種硅片校正機構，包括：

底座；

兩個推片件，均可滑動地設在所述底座上，兩個所述推片件相對設置；

運動件，可滑動地設在所述底座上，所述運動件上開設有兩個運動滑軌，兩個所述推片件分別滑動與兩個所述運動滑軌滑動連接，所述運動件在第一方向上運動時，帶動兩個所述推片件在第二方向上相互靠近或相互遠離；兩個所述推片件用于在相互靠近時對硅片夾持校正；

驅動裝置，連接所述運動件，用于帶動所述運動件在所述第一方向上運動。

上述硅片校正機構，現有技術中需要兩個氣缸連接兩個推片件，本實施方式中通過運動件的設置，使得單個氣缸可以帶動兩個推片件相互靠近或相互遠離，節省了硅片校正機構的成本。

在其中一個實施例中，所述推片件包括：

移動部，滑動設在所述底座上，并與所述運動件的一所述運動滑軌滑動連接；

推片部，設在所述移動部上背離所述運動件的一側，并高于所述移動部，所述推片部用于校正硅片。推片部高于移動部，校正硅片時，移動部和推片部同時向硅片靠近，硅片位置高于移動部，只有推片部推動校正硅片，保證校正的穩定性、降低校正力度，避免硅片被破壞。

在其中一個實施例中，所述推片部包括橫桿部、設在所述橫桿部上的若干校正輪、連接在所述橫桿部與所述移動部之間的連接部，兩個所述推片部的橫桿部平行設置，各所述校正輪沿所述橫桿部的長度方向排列。由于硅片在校正的過程中持續傳輸，通過校正輪校正硅片不僅可以控制校正力度，同時也大大減小了對硅片傳輸的阻力，方便硅片的傳輸。

在其中一個實施例中，所述移動部上設有滑動柱，通過所述滑動柱與所述運動滑軌滑動連接。滑動柱在經過轉折或斜面使可以很好的通過，避免卡住。

在其中一個實施例中，所述移動部上具有多個連接位，所述連接部連接在任意一個所述連接位上。連接部可以將橫桿部連接在移動部上的任意一個連接位上，推片部的位置根據具體的硅片的尺寸和校正規則進行調整，適用性更強。

在其中一個實施例中，所述運動滑軌內形成所述推片件的運動軌跡，所述運動軌跡在所述第一方向和所述第二方向上延伸，所述推片件具有：初始位置和校正位置，所述推片件沿所述運動軌跡運動時在所述初始位置和所述校正位置中切換。