[實(shí)用新型]一種電子束蒸發(fā)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021013114.7
• 申請(qǐng)日: 2020-06-04
• 公開（公告）號(hào): CN212223086U
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬溢華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫芯譜半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30;C23C14/50
• 代理公司: 北京中政聯(lián)科專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11489
• 代理人: 韓璐

1.一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于,包括：

箱體(1)，所述箱體(1)為內(nèi)部具有真空腔室的腔體(11)；

旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置樞轉(zhuǎn)安裝于腔體(11)的頂部，所述旋轉(zhuǎn)裝置放置有基片；

坩堝(4)，所述坩堝(4)設(shè)于旋轉(zhuǎn)裝置的下方，所述坩堝(4)設(shè)置有多個(gè)，所述坩堝(4)放置有靶材；

電子槍(5)，所述電子槍(5)設(shè)于腔體(11)內(nèi)，所述電子槍(5)可對(duì)靶材施加高溫。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述電子槍(5)設(shè)于腔體(11)的一側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)(20)以及設(shè)于旋轉(zhuǎn)電機(jī)(20)的基座(2)，所述基座(2)設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的固定器(21)，所述基片放置于固定器(21)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述固定器(21)的外圍設(shè)有行星盤(3)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述固定器(21)呈弧形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述坩堝(4)放置有不同金屬材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述腔體設(shè)有開口(12)，所述開口(12)樞轉(zhuǎn)安裝有開關(guān)門(13)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種電子束蒸發(fā)臺(tái)，其特征在于，所述箱體(1)的一側(cè)還設(shè)有控制裝置。