[實用新型]一種晶圓清洗設備進料輸送裝置

有效

• 申請號: 202021008097.8
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN211929451U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;童建
• 申請（專利權）人: 無錫亞電智能裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，包括進料工位（1）和從進料工位（1）抓取晶圓籃的輸送機構：

進料工位（1）包括：

工作臺（11），所述工作臺（11）設置有用于固定晶圓籃（9）的第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113），其中第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）成“L”形布置，且第一固定座（111）與第二固定座（112）、第二固定座（112）與第三固定座（113）之間的所述工作臺（11）上成型有讓位槽（114），讓位槽（114）也為“L”形布置；所述讓位槽（114）的寬度小于晶圓籃寬度；

第一傳輸組件（12），位于所述工作臺（11）下方，用于將晶圓籃（9）從第一固定座（111）運輸到第二固定座（112）上；

第二傳輸組件（13），位于所述工作臺（11）下方，用于將晶圓籃（9）從第二固定座（112）運輸到第三固定座（113）上；

所述輸送機構包括：

水平安裝架（21），所述水平安裝架（21）上設置有水平滑軌（211）；

機械手組件（22），包括設置在水平滑軌（211）上的水平滑動座（221），所述水平滑動座（221）上安裝有豎直滑軌（222），所述豎直滑軌（222）上設置有豎直滑動座（224）；

所述豎直滑動座（224）上設置有兩個平行的水平布置的轉動軸（225），所述轉動軸（225）上分別設置有抓取架（226），抓取架（226）包括U形的支撐架（2261），通過緊固螺母（2263）固定在支撐架（2261）上的伸入U形的支撐架（2261）內的U形抓取桿（2262），抓取桿（2262）與支撐架（2261）形成長方形框架結構；

水平驅動件（212）驅動水平滑動座（221）在水平滑軌（211）上運動；

升降驅動件（223）驅動豎直滑動座（224）在豎直滑軌（222）上運動；

旋轉驅動件（227）驅動兩個平行的水平布置的轉動軸（225）向相反方向轉動。

2.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）均為成矩形布置的4個固定塊，所述固定塊為呈L形的擋塊（151）。

3.根據權利要求2所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，所述擋塊（151）的內壁為斜面（152）。

4.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，所述讓位槽（114）包括兩條平行的橫向槽和與兩條平行的橫向槽連通的一條縱向槽，其中兩個第一固定座（111）分別位于橫向槽的一端，第二固定座（112）位于橫向槽與縱向槽的連接處，第三固定座（113）位于縱向槽末端。

5.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，第一傳輸組件（12）和第二傳輸組件（13）均包括滑軌、滑塊、直線運動驅動件、升降驅動件、頂塊，滑軌沿著讓位槽（114）的橫向槽或者縱向槽布置，滑軌上設置有滑塊，直線運動驅動件驅動滑塊在滑軌運動，所述滑塊上設置有頂塊，所述升降驅動件驅動頂塊升降以將第一固定座（111），第二固定座（112）和第三固定座（113）上的晶圓籃（9）頂起或者放下。

6.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，所述晶圓籃（9）的兩側邊具有若干平行的固定槽（91），晶圓（92）被固定于固定槽（91）中。

7.根據權利要求1所述的晶圓清洗設備進料輸送裝置，其特征在于，還包括感應組件（14），設置在所述工作臺（11）下方，位于第三固定座（113）底部，用于感應晶圓籃（9）中的晶圓（92）數量；

所述感應組件（14）包括傾斜滑動塊（40），以及位于滑動塊頂端的若干平行的感應齒（41）和導向齒（42），所述導向齒（42）在上升時，能夠伸入到位于第三固定座（113）上的晶圓籃（9）的內壁底部的定位槽（93）中，此時放置于固定槽（91）內的晶圓會進入相鄰兩個感應齒（41）的間隙中，感應齒（41）的側壁上設置有光電傳感器，用于感應相鄰的感應齒（41）間隙內是否存在晶圓。