[實用新型]帶數據顯示功能的一體化微機電系統熱處理氫探頭

有效

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• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212111356U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設計）人: 吳鍇;陳騫
• 申請（專利權）人: 武漢市華敏智造科技有限責任公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00;C23C8/24
• 代理公司: 武漢開元知識產權代理有限公司 42104
• 代理人: 唐正玉

本實用新型涉及帶數據顯示功能的一體化微機電系統熱處理氫探頭，結構為：保護盒體安裝在耐高溫測量氣室的檢測口位置；MEMS氫傳感器安裝于保護盒體內部，檢測端與耐高溫檢測氣室的檢測口連接；保護盒蓋板蓋在保護盒體上，高亮紅色LED數據顯示屏安裝在電路板上，電路板安裝于保護盒體內壁，高亮紅色LED數據顯示屏、MEMS氫傳感器、電路板連接成回路；高亮紅色LED數據顯示屏通過保護盒體上的開孔露出，各部件裝配完成后成為一體。本實用新型熱處理氫探頭采用小型的MEMS氫傳感器，安裝在熱處理氮化爐上時，有害氣體不會進入MEMS氫傳感器內部，不會腐蝕和堵塞傳感器，MEMS氫傳感器測量的數據直接轉化成氮勢數據通過高亮紅色LED數據顯示屏顯示出來，方便操作人員觀察。

技術領域

本實用新型屬于熱處理氫探頭的技術領域，涉及帶數據顯示功能的一體化微機電系統熱處理氫探頭。

背景技術

熱處理滲氮工藝是機械行業(yè)中金屬零件表面改性熱處理工藝的一種。將氨氣通入裝有金屬零件的高溫滲氮爐內，氨氣高溫分解后產生氮氣和氫氣，氮氣中活性氮原子滲入到金屬表面，會改變金屬表面硬度，耐腐蝕等物理和化學性能，氮原子的多少會影響零件的最終性能，通常用氮勢這單位來衡量，因為氮原子來自于氨氣裂解，同時也會產生氫原子，因此通過測量氫原子的含量就可以間接的測量出氮原子的多少，即氮勢。這是熱處理氫探頭的基本用途。

現在技術采用的熱處理氫探頭，采用的是模擬電阻電橋熱導技術，低溫氣池管路取氣，結構復雜，低溫下氣池和周邊管路會因為氨氣低溫結晶堵塞氣路、污染氣池，成本高，易損壞。氫探頭只能檢測出氫的含量，需要專門的儀表才能顯示并轉換成工藝需要的氮勢參數，現場使用操作繁瑣，成本高。

發(fā)明內容

本實用新型為了克服現有技術存在的上述不足和缺陷，提供一種帶數據顯示功能的一體化微機電系統熱處理氫探頭，用于機械行業(yè)中金屬零件表面熱處理滲氮工藝中，解決目前最常用的氫探頭結構復雜，低溫下氣池和周邊管路會因為氨氣低溫結晶堵塞氣路、污染氣池，導致無法工作和易損壞，并且現有的氫探頭只能檢測出氫的含量，還需要專門的儀表才能顯示并轉換成工藝需要的氮勢參數，現場使用操作繁瑣，成本高。

本實用新型所采用的技術方案是：

帶數據顯示功能的一體化微機電系統熱處理氫探頭，包含保護盒蓋板、保護盒體、MEMS(Microelectro Mechanical Systems)氫傳感器、顯示屏、電路板、耐高溫測量氣室；其特征在于：保護盒體安裝在耐高溫測量氣室的檢測口位置；MEMS氫傳感器安裝于保護盒體內部，檢測端與耐高溫檢測氣室的檢測口連接；保護盒蓋板蓋在保護盒體上，高亮紅色LED數據顯示屏安裝在電路板上，電路板安裝于保護盒體內壁，高亮紅色LED數據顯示屏、MEMS氫傳感器、電路板連接成回路；高亮紅色LED數據顯示屏通過保護盒體上的開孔露出，各部件裝配完成后成為一體。

所述的顯示屏為LED數據顯示屏。

所述的LED數據顯示屏為高亮LED數據顯示屏。

所述的高亮LED數據顯示屏為高亮紅色LED數據顯示屏。

本實用新型熱處理氫探頭采用了小型的MEMS氫傳感器，安裝在熱處理氮化爐上時，有害氣體不會進入MEMS氫傳感器內部，不會腐蝕和堵塞傳感器，氫探頭安裝在現場檢測時，MEMS氫傳感器測量的數據直接轉化成氮勢數據通過高亮紅色LED數據顯示屏顯示出來，方便操作人員觀察。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

解決了現有技術的不足，本實用新型提供的氫探頭，用于金屬熱處理滲氮的氮勢測量，解決了目前最常用的氫探頭結構復雜，低溫下氣池和周邊管路會因為氨氣低溫結晶堵塞氣路、污染氣池，導致無法工作，易損壞。而且只能檢測出氫的含量，需要專門的儀表才能顯示并轉換成工藝需要的氮勢參數，現場使用操作繁瑣，成本高。

附圖說明