[實用新型]一種載板有效
| 申請號： | 202021006819.6 | 申請日： | 2020-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN213142182U | 公開（公告）日： | 2021-05-07 |
| 發明（設計）人： | 徐琛 | 申請（專利權）人： | 隆基綠能科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/458 | 分類號： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京潤澤恒知識產權代理有限公司 11319 | 代理人： | 趙娟 |
| 地址： | 710100 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 | ||
1.一種載板，其特征在于，所述載板包括：
載板主體和墊片，所述墊片的材質包括玻璃材質；
所述載板主體的一面設置有至少一個承載凹槽，所述墊片設置在所述承載凹槽的底部，且所述墊片的厚度小于所述承載凹槽的深度，所述墊片背離所述承載凹槽的底部的一面用于承載硅片。
2.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述墊片的寬度與所述承載凹槽的寬度相同。
3.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述墊片的寬度小于所述承載凹槽的寬度。
4.根據權利要求3所述的載板，其特征在于，在所述墊片的寬度小于所述承載凹槽的寬度的情況下，所述承載凹槽的底部設置有兩個臺階，且所述兩個臺階相對設置在靠近所述承載凹槽的兩個側壁的位置處；
所述臺階的高度與所述墊片的厚度相同。
5.根據權利要求1所述的載板，其特征在于，所述墊片通過固定螺栓可拆卸設置在所述承載凹槽的底部。
6.根據權利要求5所述的載板，其特征在于，所述固定螺栓的數量為2，所述固定螺栓包括：螺桿和與所述螺桿一端連接的螺栓頭部；
2個所述固定螺栓相對設置在所述墊片的兩側，所述固定螺栓的螺桿穿過所述墊片和所述承載凹槽的底部，2個所述固定螺栓的螺栓頭部之間的距離與所述硅片的寬度相同。
7.根據權利要求5或6所述的載板，其特征在于，所述固定螺栓的材質包括：石墨材質、碳碳材質、碳纖維材質中的任意一種。
8.根據權利要求1至6任一所述的載板，其特征在于，所述載板主體的材質包括：石墨材質、碳碳材質、碳纖維材質中的任意一種。
9.根據權利要求1至6任一所述的載板，其特征在于，所述墊片背離所述承載凹槽的底部的一面的粗糙度，小于所述承載凹槽的底部的粗糙度。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
