[實用新型]一種InSb敏感元及無引線InSb光電紅外傳感器及探測器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021006089.X
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212434635U
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 古瑞琴;郭海周;楊志博;高勝國;田勇;鐘克創(chuàng);張小水
• 申請（專利權(quán)）人: 鄭州煒盛電子科技有限公司
• 主分類號: H01L31/02
• 分類號: H01L31/02;H01L31/0203;H01L31/0304;H01L31/09
• 代理公司: 鄭州德勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 41128
• 代理人: 武亞楠

1.一種InSb敏感元，其特征在于：所述InSb敏感元包括底托、至少一個InSb單晶片和至少一組導(dǎo)電電極；

所述底托的下沉槽底部設(shè)置有所述InSb單晶片；所述InSb單晶片上設(shè)置有所述導(dǎo)電電極，所述導(dǎo)電電極與所述InSb單晶片接觸連接；

所述底托上表面設(shè)置導(dǎo)電漿線路，所述導(dǎo)電漿線路設(shè)置在所述導(dǎo)電電極與管座的引腳連接點之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的InSb敏感元，其特征在于：所述導(dǎo)電電極與所述InSb單晶片之間還設(shè)置過渡層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的InSb敏感元，其特征在于：所述InSb單晶片的厚度為5至80μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的InSb敏感元，其特征在于：所述InSb單晶片的尺寸為3mm*5mm或者2mm*4mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的InSb敏感元，其特征在于：所述導(dǎo)電電極采用銀、鉑、鉻、鎳鉻合金或者金制成。

6.一種無引線InSb光電紅外傳感器，其特征在于：包括管帽、管座、紅外濾光片和權(quán)利要求1至5任一項所述的InSb敏感元；至少一個紅外濾光片貼裝在所述管帽上，所述管帽和所述管座密封連接，構(gòu)成檢測腔；

至少一個InSb敏感元設(shè)置在所述管座上，所述InSb敏感元的導(dǎo)電電極通過導(dǎo)電漿線路連接所述管座的引腳連接點，以實現(xiàn)檢測信號的傳輸。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的無引線InSb光電紅外傳感器，其特征在于：所述紅外濾光片呈倒T型結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的無引線InSb光電紅外傳感器，其特征在于：所述管帽上設(shè)置有兩個紅外濾光片，所述管座上設(shè)置有包含兩個InSb單晶片和兩組導(dǎo)電電極的InSb敏感元。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的無引線InSb光電紅外傳感器，其特征在于：

兩個InSb單晶片的一端通過其中兩個導(dǎo)電電極連接所述管座的同一引腳連接點，兩個InSb單晶片的另一端通過另兩個導(dǎo)電電極連接所述管座的不同引腳連接點；

或，兩個InSb單晶片不共用所述管座的引腳連接點。

10.一種光電紅外探測器，包括PCB板和匹配電路，其特征在于：還包括權(quán)利要求6至9任一項所述的無引線InSb光電紅外傳感器，所述無引線InSb光電紅外傳感器設(shè)置在所述PCB板上；所述無引線InSb光電紅外傳感器的管腳與匹配電路連接。