[實用新型]探針卡檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021001926.X
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212109902U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發(fā)明（設計）人: 王金源
• 申請（專利權）人: 源臺精密科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/22;G01B11/02;G01R31/00
• 代理公司: 北京北新智誠知識產(chǎn)權代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

一種探針卡檢測裝置，具有一設于工作平臺上的量測部，量測部包括有一光源掃描單元、一影像擷取單元及一比對單元，光源掃描單元可對一探針卡進行深度距離量測以取得一3D掃描資訊，影像擷取單元供擷取探針卡的影像以取得一2D影像資訊，比對單元用以接收3D掃描資訊與2D影像資訊，以辨識探針卡的腳位是否正確，量測部更具有一標示單元，用以標記探針卡的錯誤腳位的位置，而一輸送部設于工作平臺上，輸送部設有一用以承載該探針卡的載臺，使探針卡被標記的錯誤腳位的位置可被輸送至一校正部。

技術領域

本實用新型與檢測裝置有關，特別是指一種可對探針卡進行3D掃描及2D影像檢測的探針卡檢測裝置。

背景技術

按，公知的探針卡檢測裝置具有一檢測平臺，并設有治具以將待檢測的探針卡固定于平臺上，而平臺上設有一觀測器，用以觀測探針卡的腳位的位置是否符合標準，若發(fā)現(xiàn)某些腳位的位置偏離于標準位置，則須進一步將探針卡移至一校正裝置處，透過該校正裝置對此不良品進行校正，使偏離的腳位可回復至標準位置上。

如中國臺灣第I525327號發(fā)明專利案所公開的探針卡檢測裝置，主要系利用在一檢測平臺上架設有一可拍攝探針卡2D影像的影像擷取單元，并借由將所擷取的2D影像與一影像比對單元中的教導檔進行比對，以辨識出探針卡的腳位的位置是否出現(xiàn)偏差。然而上揭專利前案的探針卡檢測裝置僅具有2D影像的拍攝及比對功能，實際上并無法精確的量測出有關探針卡腳位的深度(距離)等3D資訊，因此其檢測精準度并不理想，且無法同時滿足不同的檢測需求。

有鑒于此，故如何解決上述問題，即為本實用新型所欲解決的主要課題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的，在于提供一種探針卡檢測裝置，其可對探針卡進行3D掃描及2D影像檢測，并進而標記出位置偏離的腳位，再將所標記的腳位直接輸送至校正部進行校正，借此具有可有效提升檢測精準度、以及可縮短檢測及校正時間的功效。

為達前述的目的，本實用新型提供一種探針卡檢測裝置，包括有：

一工作平臺；

一量測部，設于該工作平臺上，該量測部包括有一光源掃描單元、一影像擷取單元及一比對單元，其中該光源掃描單元可對一探針卡進行深度距離量測以取得一3D掃描資訊，該影像擷取單元則可用以擷取該探針卡的影像以取得一2D影像資訊，而該比對單元用以接收該3D掃描資訊與該2D影像資訊，以辨識該探針卡的腳位的深度距離與位置，該量測部更包括有一標示單元，用以標記該探針卡的錯誤腳位的位置；

一校正部，設于該工作平臺上，該校正部設有一工作位置，用以校正該探針卡的腳位；

一輸送部，設于該工作平臺上，該輸送部設有一用以承載該探針卡的載臺，且該載臺可相對該工作平臺位移，使該探針卡可在該量測部及該校正部之間移動，并將該探針卡被該標示單元標記的錯誤腳位的位置直接輸送至該校正部的工作位置。

較佳地，該光源掃描單元包括有一光源、一光纖耦合器及一由多組光學鏡片組成的光學探頭，且該光源、該光纖耦合器與該光學探頭分別透過光纖串接以傳送光線。

較佳地，該工作平臺立設有一立柱，并于該立柱上滑設有一可沿該立柱上下滑移的滑座，該滑座上固接有一固定座，且該光源掃描單元、該影像擷取單元與該校正部依序并排架設于該固定座上。

較佳地，該工作平臺設有光學尺，用以產(chǎn)生該標示單元所標記錯誤腳位的位置的座標，并利用此座標令該輸送部將該探針卡被標記錯誤腳位的位置直接輸送至該校正部的工作位置。

而本實用新型的上述目的與優(yōu)點，不難從下述所選用實施例的詳細說明與附圖中獲得深入了解。

附圖說明