[實(shí)用新型]一種逸出功的測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021001328.2
• 申請日: 2020-06-03
• 公開（公告）號: CN212255140U
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳智學(xué);陳建明;陳志寬;黃維
• 申請（專利權(quán)）人: 宜興凡遠(yuǎn)光電科技有限公司
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本實(shí)用新型公開了一種逸出功的測量裝置。逸出功的測量裝置包括樣品室、光源、光調(diào)節(jié)部件、樣品臺、光電倍增管、光路控制部件、第一電流檢測部件、光電流采集部件、第二電流檢測部件以及主控部件，其中，樣品臺、光電倍增管、光路控制部件以及光電流采集部件位于樣品室內(nèi)；光源、光調(diào)節(jié)部件、第一電流檢測部件、第二電流檢測部件以及主控部件位于樣品室外。本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案，降低了測量成本、簡化了測量過程、縮短了測量時長，并提高了測量過程的穩(wěn)定性及測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型實(shí)施例涉及材料參數(shù)測量技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種逸出功的測量裝置。

背景技術(shù)

逸出功是材料特性的一個重要指標(biāo)，直接關(guān)系到制作的器件性能，因此，準(zhǔn)確測量材料的逸出功對于材料的合成和器件的制作有著重要的指導(dǎo)意義。目前測量逸出功的方法通常包括以下兩種：1、紫外光電子能量普法；2、循環(huán)伏安法。其中，紫外光電子能量普法采用的設(shè)備造價高、使用成本高、操作專業(yè)性要求高且測試時間長，循環(huán)伏安法需要將材料配置成溶液后進(jìn)行測量，測量過程的穩(wěn)定性以及測量結(jié)果的準(zhǔn)確性較差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種逸出功的測量裝置，以降低測量成本、簡化測量過程、縮短測量時長，并提高測量過程的穩(wěn)定性及測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種逸出功的測量裝置，包括樣品室、光源、光調(diào)節(jié)部件、樣品臺、光電倍增管、光路控制部件、第一電流檢測部件、光電流采集部件、第一電流檢測部件以及主控部件，所述樣品臺、所述光電倍增管、所述光路控制部件以及所述光電流采集部件位于所述樣品室內(nèi)；所述光源、所述光調(diào)節(jié)部件、所述第一電流檢測部件、所述第二電流檢測部件以及所述主控部件位于所述樣品室外；所述樣品室用于提供氛圍可控的密閉空間；所述光源用于提供深紫外光；所述光調(diào)節(jié)部件用于將所述深紫外光調(diào)節(jié)為在預(yù)設(shè)波長范圍內(nèi)當(dāng)前波長可控的單色光；所述樣品臺用于承載待測試樣品；所述光電倍增管用于將光信號轉(zhuǎn)換為電信號；所述光路控制部件用于控制所述單色光入射至所述樣品臺上的待測試樣品上或所述光電倍增管內(nèi)；所述第一電流檢測部件與所述光電倍增管電連接，用于檢測所述光電倍增管產(chǎn)生的電流；所述光電流采集部件用于采集待測樣品中逸出電子生成的電流；所述第二電流檢測部件與所述光電流采集部件電連接，用于檢測所述光電流采集部件采集的電流；所述主控部件與所述光調(diào)節(jié)部件、所述第一電流檢測部件以及所述第二電流檢測部件連接，用于控制所述光調(diào)節(jié)部件正常工作，根據(jù)所述第一電流檢測部件和所述第二電流檢測部件輸出的檢測結(jié)果，計算獲得所述待測樣品的材料的逸出功。

可選的，所述光源包括氘燈和電源，所述電源與所述氘燈連接。

可選的，所述光源提供的深紫外光的波長λ取值范圍為：115nm≤λ≤400nm。

可選的，所述光路控制部件為抽拉桿，所述抽拉桿與所述樣品臺連接。

可選的，所述第一電流檢測部件為皮安表。

可選的，所述第二電流檢測部件為微電流計。

可選的，所述光電流采集部件包括相對設(shè)置的第一平板電極和第二平板電極，所述第一平板電極位于所述樣品臺和所述待測樣品之間，所述第二平板電極位于所述待測樣品遠(yuǎn)離所述樣品臺的一側(cè)。

可選的，所述光調(diào)節(jié)部件包括聚光鏡和單色儀，所述聚光鏡位于所述單色儀靠近所述光源的一側(cè)。

可選的，所述預(yù)設(shè)波長范圍為130～310nm。

可選的，所述樣品室包括真空系統(tǒng)出口、氮?dú)馊肟谝约暗獨(dú)獬隹凇?/p>