[實用新型]一種用于高頻線圈的拉制孔蓋板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021000185.3
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN212533202U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉奇豐;劉朝軒
• 申請（專利權(quán)）人: 洛陽金諾機械工程有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B28/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種用于高頻線圈的拉制孔蓋板，涉及人工晶體制備技術(shù)領(lǐng)域，本實用新型通過在板體（1）的下面設(shè)置固定板（2），然后將固定板插接在高頻線圈（9）上的導(dǎo)流槽（10）內(nèi)，使固定板遮蓋高頻線圈中部的內(nèi)孔，防止冷卻氣體從高頻線圈中部的內(nèi)孔和導(dǎo)流槽進入原料棒熔區(qū)等，進而避免原料棒中部熔區(qū)結(jié)晶和原料棒流料的問題，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，制造方便等特點，特別適合在多晶硅行業(yè)推廣實施。

【技術(shù)領(lǐng)域】本實用新型涉及人工晶體制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于高頻線圈的拉制孔蓋板。

【背景技術(shù)】

已知的，在硅芯拉制過程中使用籽晶進行引晶。待引晶完成后再進行硅芯的拉制。此時，籽晶借助籽晶夾頭夾持。待高頻線圈將原料棒的端頭局部融化成液體后，籽晶夾頭帶動籽晶下降，穿過高頻線圈的拉制孔后插入原料棒上端的溶液內(nèi)，隨后通過籽晶夾頭帶動籽晶上升，籽晶帶動溶液上升并重新結(jié)晶，最終形成所需長度的硅芯。在籽晶帶著融液上升的過程中，當(dāng)融液離開高頻線圈的拉制孔后會逐漸冷卻并重新結(jié)晶。此時帶動籽晶上升的上軸的提升速度較慢，拉制直徑為8mm的硅芯時，上軸的提升速度為14mm/min左右，拉制直徑為10mm的硅芯時，上軸的提升速度為12mm/min左右，拉制硅芯的直徑一般都在8～15mm之間。所拉制的硅芯直徑越大，其后期在還原爐內(nèi)的生長速度越快，生產(chǎn)效率越高，所以如何提高硅芯的生產(chǎn)效率和增大硅芯的直徑就成了本領(lǐng)域的技術(shù)訴求之一。

針對上述技術(shù)問題，申請人給出了“一種用于硅芯拉制時提高硅芯結(jié)晶速度的吹氣裝置”的專利申請（專利申請?zhí)枮?01921012072.2、申請日為2019年07月02日、公告號為CN210560875U）。該申請借助于一吹氣裝置，有效的提高了硅芯的結(jié)晶速度。

上述專利申請雖然解決了硅芯結(jié)晶速度慢的問題，但在拉制硅芯的過程中，由于每個吹氣管吹出的氣體在對新拉制硅芯冷卻的同時，有一部分氣體會沿著高頻線圈上導(dǎo)流槽和中部內(nèi)孔接觸高頻線圈下端原料棒的熔區(qū)，進而造成原料棒中部熔區(qū)結(jié)晶，影響拉制速度，嚴重時還會導(dǎo)致原料棒熔區(qū)流料，無法實現(xiàn)硅芯的正常拉制等。

【發(fā)明內(nèi)容】

鑒于背景技術(shù)中存在的不足，本實用新型公開了一種用于高頻線圈的拉制孔蓋板，本實用新型有效的避免了冷卻氣體從高頻線圈中部的內(nèi)孔和導(dǎo)流槽進入原料棒熔區(qū)等，進而避免原料棒中部熔區(qū)結(jié)晶和原料棒流料的問題，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，加工方便等特點。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案：

一種用于高頻線圈的拉制孔蓋板，包括板體和固定板，在所述板體的下面間隔設(shè)有復(fù)數(shù)個向下延伸的固定板，每個固定板分別插接在高頻線圈上的導(dǎo)流槽內(nèi)形成所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板。

所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板，所述板體的形狀為圓形或橢圓形或梯形或平行四邊形或多角形中的任意一種。

所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板，所述板體的形狀優(yōu)選為圓形，圓形板體的直徑大于高頻線圈中部拉制孔的直徑。

所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板，所述板體的中部設(shè)有觀察孔，所述觀察孔對應(yīng)高頻線圈中部的內(nèi)孔，在所述觀察孔上面設(shè)有石英板。

所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板，所述石英板的形狀為圓形或橢圓形或梯形或平行四邊形或多角形中的任意一種。

所述的用于高頻線圈的拉制孔蓋板，所述觀察孔上端的開口端設(shè)有倒角。

由于采用上述技術(shù)方案，本實用新型具有如下有益效果：

本實用新型通過在板體的下面設(shè)置固定板，然后將固定板插接在高頻線圈上的導(dǎo)流槽內(nèi)，使固定板遮蓋高頻線圈中部的內(nèi)孔，防止冷卻氣體從高頻線圈中部的內(nèi)孔和導(dǎo)流槽進入原料棒熔區(qū)等，進而避免原料棒中部熔區(qū)結(jié)晶和原料棒流料的問題，本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，制造方便等特點，特別適合在多晶硅行業(yè)推廣實施。

【附圖說明】

圖1是本實用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；