[實用新型]硅片輸送設備

有效

• 申請號: 202020998322.0
• 申請日: 2020-06-03
• 公開（公告）號: CN212830821U
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 李文;李昶;李澤通;徐飛;黃莉莉
• 申請（專利權）人: 無錫奧特維科技股份有限公司
• 主分類號: B65G15/20
• 分類號: B65G15/20;B65G15/12;B65G15/22;B65G23/44;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 無錫永樂唯勤專利代理事務所(普通合伙) 32369
• 代理人: 章陸一;孫際德

1.一種硅片輸送設備，其特征在于，所述硅片輸送設備包括第一輸送機構、第二輸送機構、第一支撐部、第二支撐部及間距調整部；其中：

所述第一輸送機構包括第一輸送帶及第一輸送帶支撐架，所述第二輸送機構包括第二輸送帶及第二輸送帶支撐架；

所述第一輸送帶支撐架與所述第二輸送帶支撐架平行間隔設置，所述第一輸送帶外套于所述第一輸送帶支撐架上并沿著所述第一輸送帶支撐架的延伸方向行進，所述第二輸送帶外套于所述第二輸送帶支撐架上并沿著所述第二輸送帶支撐架的延伸方向行進；

所述第一支撐部上設置第一導軌，所述第二支撐部上設置第二導軌，所述第一輸送帶支撐架的第一端和所述第二輸送帶支撐架的第一端分別通過第一滑塊滑動安裝于所述第一導軌上，所述第一輸送帶支撐架的第二端和所述第二輸送帶支撐架的第二端分別通過第二滑塊滑動安裝于所述第二導軌上；

所述間距調整部通過調整兩個所述第一滑塊之間的間距，以帶動調整所述第一輸送帶支撐架和所述第二輸送帶支撐架之間的間距，進而實現對所述第一輸送帶和所述第二輸送帶之間的間距調整。

2.根據權利要求1所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述間距調整部包括驅動機構及連桿機構，所述驅動機構通過兩套所述連桿機構分別與兩個所述第一滑塊相連；

所述驅動機構通過所述連桿機構驅動兩個所述第一滑塊在所述第一導軌上相向或者相背滑動，使兩個所述第一滑塊之間的間距縮小或者增大。

3.根據權利要求2所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述連桿機構包括第一連桿及第二連桿，所述第一連桿的一端與所述驅動機構相連，所述第一連桿的另一端與所述第二連桿的一端鉸接，所述第二連桿的另一端與所述第一滑塊相連。

4.根據權利要求2所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述間距調整部還包括導向機構，所述導向機構安裝在所述驅動機構與所述連桿機構之間，所述導向機構包括滑軌及滑動配合在所述滑軌上的調節塊，所述驅動機構的活動部件連接在所述調節塊上，所述調節塊與兩套所述連桿機構的一端相連；所述驅動機構驅動所述調節塊在所述滑軌上上下滑動并帶動所述連桿機構動作。

5.根據權利要求1所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述間距調整部還包括定位機構，所述定位機構安裝在所述第一支撐部和/或所述第二支撐部上，并且布置于所述第一導軌和/或所述第二導軌的兩端。

6.根據權利要求1所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述硅片輸送設備還包括傳動機構及輸送輪組，兩個所述輸送輪組分別安裝在所述第一輸送帶支撐架與所述第二輸送帶支撐架上，所述第一輸送帶與所述第二輸送帶分別卷繞在兩個所述輸送輪組上，所述傳動機構分別與兩個所述輸送輪組相連，并驅動兩條所述輸送帶同步運轉。

7.根據權利要求6所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述輸送輪組包括主動輪及被動輪，所述輸送帶卷繞在所述主動輪與所述被動輪上，所述主動輪與所述傳動機構相連，由所述傳動機構帶動旋轉。

8.根據權利要求7所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述輸送輪組還包括張緊輪與過渡輪，所述張緊輪布置在所述輸送帶內側，所述過渡輪布置在所述輸送帶外側，所述輸送帶依次經過所述主動輪、所述被動輪、所述張緊輪及所述過渡輪。

9.根據權利要求6所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述傳動機構包括電機、同步帶機構及轉軸，所述第一輸送機構的主動輪與所述第二輸送機構的主動輪分別可軸向移動地安裝在所述轉軸上，所述電機旋轉通過所述同步帶機構帶動所述轉軸旋轉。

10.根據權利要求9所述的硅片輸送設備，其特征在于，所述第一輸送機構的主動輪以及所述第二輸送機構的主動輪與所述轉軸之間分別安裝有直線軸承。