[實用新型]三氯乙烯自動通源控制系統

有效

• 申請號: 202020975086.0
• 申請日: 2020-06-02
• 公開（公告）號: CN211786822U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 劉大力
• 申請（專利權）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號: G05D27/02
• 分類號: G05D27/02;F17D1/02;F17D1/00;F17D3/01;F17D5/00
• 代理公司: 成都極刻智慧知識產權代理事務所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

1.一種三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，包括：氣路管道、氣路控制組件及一套源溫控制系統；

所述源溫控制系統包括用于存儲三氯乙烯源液的源液存儲設備；

所述氣路管道包括輸入主管道、輸出主管道及至少兩路輸送管道，每路輸送管道均包括輸入管道及輸出管道，所述每路輸送管道的輸入管道連通于外接氣源與所述輸入主管道之間，所述輸入主管道伸入所述源液存儲設備的三氯乙烯源液中；

所述輸出主管路與所述源液存儲設備的內部空間連通，所述每路輸送管道的輸出管道連通于所述輸出主管路與外部擴散爐的待干洗管道之間；

所述氣路控制組件包括管道開關閥及用于控制所述管道開關閥工作狀態的控制閥，所述管道開關閥設置在每路所述輸送管道的輸入管道和輸出管道上，用于控制所述輸入管道和輸出管道的通斷狀態。

2.如權利要求1所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述氣路控制組件還包括用于控制管道氣體流量的氣體流量控制器，所述氣體流量控制器設置在每路所述輸送管道的輸入管道上。

3.如權利要求2所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述氣體流量控制器包括浮子流量計。

4.如權利要求1所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述氣路控制組件還包括單向閥，所述單向閥設置在每路所述輸送管道的輸入管道上，用于控制所述輸入管道單方向導通。

5.如權利要求1所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述氣路管道還包括卸壓管道支路，所述卸壓管道支路與所述輸出主管道連通；

所述氣路控制組件還包括卸壓閥，所述卸壓閥設置在所述卸壓管道支路上，所述卸壓閥在所述氣路管道中的壓強大于預設壓強閾值時打開，對所述氣路管道進行卸壓。

6.如權利要求1-5中任意一項所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述管道開關閥包括氣動閥，所述控制閥包括電磁閥；

所述電磁閥通過三通管道與同一輸送管道上的兩個所述氣動閥連接，所述電磁閥在接收到電信號時通過釋放壓縮氣體控制兩個所述氣動閥的通斷狀態。

7.如權利要求6所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述源溫控制系統還包括用于使所述源液存儲設備中的源液維持在設定溫度的源溫控制器、以及設置在所述源液中的溫度傳感器；

所述溫度傳感器與所述源溫控制器連接，用于將檢測的源液溫度反饋給所述源溫控制器，使所述源溫控制器根據反饋的源液溫度控制所述源液維持在設定溫度。

8.如權利要求7所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述氣源為氮氣源。

9.如權利要求8所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述三氯乙烯自動通源控制系統還包括：與所述控制閥電性連接的控制終端，所述控制終端通過發送電信號控制所述控制閥的工作狀態。

10.如權利要求9所述的三氯乙烯自動通源控制系統，其特征在于，所述控制終端還包括顯示屏，所述顯示屏用于顯示所述控制閥的工作狀態和/或所述控制閥控制的管道開關閥的通斷狀態。