[實(shí)用新型]加液輔助裝置、清洗機(jī)及腐蝕機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202020975067.8 | 申請(qǐng)日： | 2020-06-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN212292765U | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馮本瑞;于雄飛;葉冠軍;蘇鍇;王志堅(jiān);賈立超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 吉林華微電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B67C9/00 | 分類號(hào)： | B67C9/00;H01L21/67;H01L21/306 |
| 代理公司： | 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐維虎 |
| 地址： | 132000 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 輔助 裝置 清洗 腐蝕 | ||
1.一種加液輔助裝置，其特征在于，包括：結(jié)合部(1)、承載部(2)以及固定部(3)；
所述結(jié)合部(1)固定于所述承載部(2)的一面并朝遠(yuǎn)離所述承載部(2)的方向延伸，所述結(jié)合部(1)遠(yuǎn)離所述承載部(2)的一端為第一開口；
所述固定部(3)固定于所述承載部(2)遠(yuǎn)離所述結(jié)合部(1)的一面，所述固定部(3)開設(shè)有第二開口(31)，所述第二開口(31)的邊緣開設(shè)有與所述第二開口(31)連通的第三開口(32)；
所述結(jié)合部(1)和所述固定部(3)通過所述承載部(2)連接使第一開口和所述第二開口(31)連通；
所述結(jié)合部(1)用于伸入儲(chǔ)液槽(4)，所述承載部(2)用于與所述儲(chǔ)液槽(4)的邊沿抵接；
所述第二開口(31)用于套設(shè)化劑瓶(5)，以使所述化劑瓶(5)內(nèi)的化劑液通過所述第一開口流向所述儲(chǔ)液槽(4)；
所述第三開口(32)用于固定所述化劑瓶(5)的把手。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述固定部(3)包括固定板(331)以及首尾相連的四個(gè)側(cè)板(332)；
所述側(cè)板(332)固定于所述承載部(2)遠(yuǎn)離所述結(jié)合部(1)的一面；
所述固定板(331)設(shè)置于所述側(cè)板(332)遠(yuǎn)離所述承載部(2)的一端并與所述側(cè)板(332)固定連接；
所述第二開口(31)開設(shè)于所述固定板(331)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述第二開口(31)為兩個(gè)；
與其中一個(gè)第二開口(31)連通的第三開口(32)朝向一個(gè)側(cè)板(332)，與另一個(gè)第二開口(31)連通的第三開口(32)朝向相對(duì)的另一個(gè)側(cè)板(332)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述第二開口(31)為兩個(gè)以上；所述第二開口(31)間隔分布于所述固定板(331)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述固定部(3)包括固定板(331)和連接筒(333)；
所述連接筒(333)的一端固定于所述承載部(2)遠(yuǎn)離所述結(jié)合部(1)的一面；
所述固定板(331)設(shè)置于所述連接筒(333)遠(yuǎn)離所述承載部(2)的一端并與所述連接筒(333)固定連接；
所述第二開口(31)開設(shè)于所述固定板(331)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述固定板(331)與所述連接筒(333)可拆卸式連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述固定板(331)上設(shè)置有連接部(3311)，所述連接部(3311)的外周壁設(shè)置有螺紋條(3312)；
所述連接筒(333)遠(yuǎn)離所述承載部(2)的一端的內(nèi)周壁開設(shè)有螺紋槽(3331)；
通過作用于所述固定板(331)，以使所述連接部(3311)的外周壁與所述連接筒(333)的內(nèi)周壁相抵接，并通過所述螺紋條(3312)與所述螺紋槽(3331)實(shí)現(xiàn)所述固定板(331)與所述連接筒(333)的可拆卸式連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的加液輔助裝置，其特征在于，所述第二開口(31)和第三開口(32)的邊緣設(shè)置有緩沖墊(6)。
9.一種清洗機(jī)，其特征在于，包括第一槽體以及上述權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的加液輔助裝置；所述加液輔助裝置用于與所述第一槽體抵接，以將固定于所述加液輔助裝置上的化劑瓶中的化劑液引流至所述第一槽體中。
10.一種腐蝕機(jī)，其特征在于，包括第二槽體以及上述權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的加液輔助裝置；所述加液輔助裝置用于與所述第二槽體抵接，以將固定于所述加液輔助裝置上的化劑瓶中的化劑液引流至所述第二槽體中。
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