[實用新型]一種石英雙爐門結(jié)構(gòu)

有效

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• 申請日: 2020-06-01
• 公開（公告）號: CN212253665U
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設計）人: 張海林;滕玉朋
• 申請（專利權(quán)）人: 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D7/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種石英雙爐門結(jié)構(gòu)，包括內(nèi)密封石英爐門、石英包、保溫材料、外密封爐門、爐口密封墊、爐門水冷進出水嘴、爐門腔室進氣管、雙爐門驅(qū)動機構(gòu)安裝座、彈性部件、爐門腔室、雙腔室石英工藝管、冷卻水道和壓力平衡氣口，所述雙腔室石英工藝管的左端設置有爐門腔室，所述爐門腔室的內(nèi)部設置有內(nèi)密封石英爐門，所述內(nèi)密封石英爐門的左端固定安裝有石英包。本實用新型通過對常用的爐門結(jié)構(gòu)進行改進，使其在使用爐門處不會產(chǎn)生雙腔室工藝管在工藝過程中的反應物在爐口處積存，最終實現(xiàn)爐口干凈而使雙爐門的密封效果保持良好、爐口沒有反應物積存，也不會阻礙工藝管內(nèi)完成工藝工作的物料進出順暢，不浪費清理和維護時間。

技術(shù)領域

本實用新型涉及半導體工業(yè)晶片鍍膜設備和光伏行業(yè)晶片鍍膜設備生產(chǎn)技術(shù)領域，具體為一種石英雙爐門結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明應用、大功率電源轉(zhuǎn)換等領域應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。無論從科技或是經(jīng)濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關(guān)聯(lián)。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，在商業(yè)應用上最具有影響力的一種。

常用的爐門結(jié)構(gòu)為單爐門結(jié)構(gòu)，這種單爐門結(jié)構(gòu)在使用時經(jīng)常會出現(xiàn)爐門密閉性不好，由于有空氣中的氧因為爐門密封不好而進入爐口處與工藝管內(nèi)部氣體會生成反應物且在爐口積存，出現(xiàn)反應物在爐口堆積并粘連爐門，更加影響密封性，惡性循環(huán)愈演愈烈，同時也阻礙了工藝管內(nèi)完成工藝的晶片進出爐口的順暢，需要經(jīng)常性清理，浪費機臺清理和維護時間，影響機臺產(chǎn)能和晶片工藝質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種石英雙爐門結(jié)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種石英雙爐門結(jié)構(gòu)，包括內(nèi)密封石英爐門、石英包、保溫材料、外密封爐門、爐口密封墊、爐門水冷進出水嘴、爐門腔室進氣管、雙爐門驅(qū)動機構(gòu)安裝座、彈性部件、爐門腔室、雙腔室石英工藝管、冷卻水道和壓力平衡氣口，所述雙腔室石英工藝管的左端設置有爐門腔室，所述爐門腔室的內(nèi)部設置有內(nèi)密封石英爐門，所述內(nèi)密封石英爐門的左端固定安裝有石英包，所述石英包的內(nèi)部設置有保溫材料，所述石英包的左側(cè)表面固定安裝有彈性部件，所述爐門腔室的左側(cè)設置有外密封爐門，所述外密封爐門的內(nèi)部設置有爐口密封墊，所述外密封爐門的左側(cè)固定安裝有爐門水冷進出水嘴，所述外密封爐門的內(nèi)部固定安裝有爐門腔室進氣管，所述外密封爐門的左側(cè)表面固定安裝有雙爐門驅(qū)動機構(gòu)安裝座，所述外密封爐門的邊緣內(nèi)部安放有冷卻水道，所述石英包的內(nèi)部設置有壓力平衡氣口。

優(yōu)選的，所述內(nèi)密封石英爐門(1)包括石英包(2)和保溫材料(3)。

優(yōu)選的，所述外密封爐門(4)的右側(cè)表面開設有與彈性部件(9)相適配的接口，且二者通過該接口固定安裝。

優(yōu)選的，所述爐門水冷進出水嘴(6)布置在外密封爐門(4)靠近邊緣的直徑上，與冷卻水道(12)連同，保持下進水上出水順序；爐門腔室進氣管 (7)設置在對應爐門腔室(10)的直徑范圍內(nèi)，雙爐門驅(qū)動機構(gòu)安裝座(8) 固定安裝在外密封爐門(4)的中心部位。

優(yōu)選的，所述冷卻水道(12)設置在外密封爐門靠緊邊緣的直徑上，且安放在外密封爐門(4)的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述彈性部件(9)的右端固定安裝在石英包(2)的表面，其左端固定安裝在外密封爐門(4)的表面。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該石英雙爐門結(jié)構(gòu)，通過對常用的爐門結(jié)構(gòu)進行改進，使其在使用爐門處通過爐門腔室進氣管向爐門腔室內(nèi)通入微量惰性氣體，其壓力值微高于工藝管內(nèi)的壓力值，由于壓差其內(nèi)部工藝氣體不能外泄，也就不會形成反應物堆積。