[實用新型]一種RCZ法拉制鎵摻雜單晶硅的導流筒結構有效

申請號：	202020952838.1	申請日：	2020-05-29
公開（公告）號：	CN213708547U	公開（公告）日：	2021-07-16
發明（設計）人：	馬新星;王藝澄	申請（專利權）人：	包頭美科硅能源有限公司
主分類號：	C30B15/00	分類號：	C30B15/00;C30B15/10;C30B29/06
代理公司：	南京經緯專利商標代理有限公司 32200	代理人：	馬嚴龍
地址：	014010 內蒙古自治區***	國省代碼：	內蒙古;15
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種 rcz 法拉摻雜單晶硅導流結構
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【權利要求書】：

1.一種RCZ法拉制鎵摻雜單晶硅的導流筒結構，且特征在于：包括盛有液態硅（7）的石英坩堝（8），所述液態硅（7）的液面上設有外導流筒（6），外導流筒（6）為縱向布置的管狀結構，其底部開口小于上部開口，所述外導流筒（6）內置與其結構相同的內導流筒（3），外導流筒（6）與內導流筒（3）之間為高效保溫氈（5），外導流筒（6）的上邊緣與內導流筒（3）的上邊緣之間填充有導流筒固氈環（4），所述內導流筒（3）內安裝有水冷屏（2），所述水冷屏（2）的內徑與單晶硅棒（1）的直徑的比為1.1-1.35。

2.根據權利要求1所述的一種RCZ法拉制鎵摻雜單晶硅的導流筒結構，且特征在于：本專利中的單晶硅棒（1）成型尺寸是8.5吋或9吋。

3.根據權利要求1所述的一種RCZ法拉制鎵摻雜單晶硅的導流筒結構，且特征在于：外導流筒（6）的外徑與單晶硅棒（1）的直徑的比為2.0-2.6。

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