[實用新型]一種自適應浮動載物裝置

有效

• 申請號: 202020946139.6
• 申請日: 2020-05-28
• 公開（公告）號: CN212684367U
• 公開（公告）日: 2021-03-12
• 發明（設計）人: 劉克村
• 申請（專利權）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/04;G01B21/00;G01B21/24
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 于晶晶

本實用新型公開了一種自適應浮動載物裝置，包括用于載物的浮動臺、設于所述浮動臺的下部用于調整浮動臺位置的浮動件和用于鎖緊所述浮動件實現對浮動件定位的鎖緊組件，所述浮動臺與所述浮動件固定連接。該裝置能夠通過浮動件對浮動臺的位置進行調整，實現浮動臺適應晶棒端面，浮動件通過鎖緊組件鎖緊并定位，實現浮動臺位置的固定，從而滿足晶棒檢晶線和檢測同軸度的需求。

技術領域

本實用新型涉及晶硅加工設備技術領域，特別是涉及一種自適應浮動載物裝置。

背景技術

現有光伏開方設備，部分采用立式開方，立式開方時需要將晶棒豎直放置到定位臺上，然后通過旋轉來實現對晶棒晶線和同軸度的檢測。但是因為晶棒端面相對軸向不垂直，如果將晶棒放置在固定平面上會導致晶棒傾斜，同軸度不合格，從而導致無法上料加工。

針對上述問題，特提出本實用新型。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種自適應浮動載物裝置，該裝置能夠通過浮動件對浮動臺的位置進行調整，實現浮動臺適應晶棒端面，浮動件通過鎖緊組件鎖緊并定位，實現浮動臺位置的固定，從而滿足晶棒檢晶線和檢測同軸度的需求。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種自適應浮動載物裝置，包括用于載物的浮動臺、設于所述浮動臺的下部用于調整浮動臺位置的浮動件和用于鎖緊所述浮動件實現對浮動件定位的鎖緊組件，所述浮動臺與所述浮動件固定連接。

優選的，所述鎖緊組件包括設置于所述浮動臺下部且可伸縮的缸體、置于所述缸體內部用于支撐所述浮動件的支撐座和用于固定支撐座位置的法蘭板，所述支撐座的一端穿出所述缸體與所述法蘭板固定連接，所述浮動件可活動的置于所述支撐座的另一端，浮動件遠離支撐座的一端穿過缸體與所述浮動臺固定連接，所述浮動件通過支撐座配合缸體壓縮實現鎖緊并定位。

優選的，所述浮動件包括浮動球體和固定連接于所述浮動球體上的支撐塊，所述浮動臺與所述支撐塊固定連接。

優選的，所述支撐座上設置有用于放置所述浮動球體的凹槽，所述缸體上部設置有通孔，所述浮動件的上端穿過通孔，所述浮動件可在通孔內活動實現對浮動臺位置的調整，所述通孔的尺寸小于所述浮動球體的直徑。

優選的，所述缸體包括內部為中空結構的缸體本體和與缸體本體連接用于密封缸體本體的密封端蓋，所述支撐座由上支撐座和下支撐座組成T形結構，所述上支撐座置于所述缸體本體內，所述下支撐座的下端穿過所述密封端蓋與所述法蘭板固定連接，所述上支撐座的下端與密封端蓋之間設置有用于充放氣以控制缸體本體沿上支撐座的側壁伸縮的腔體，所述浮動件可活動的置于所述上支撐座的上端，所述上支撐座的上端與缸體本體內壁之間留有缸體本體伸縮的空間。

優選的，所述上支撐座的上端與缸體本體內壁之間設置有若干個用于在缸體放氣后實現缸體復位的彈性件。

優選的，所述上支撐座的側壁與缸體本體之間設置有用于對缸體本體的伸縮進行導向的導向環和用于實現對缸體內部氣體密封的密封圈。

優選的，所述浮動臺的縱向截面設置為倒U形結構，所述浮動臺扣設于所述缸體上，所述浮動臺與缸體之間留有供浮動臺活動以實現位置調整的空間。

優選的，所述浮動臺用于載物的端面上設置有多條用于增大浮動臺摩擦力的縱橫交錯的條形槽。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

本實用新型提供了一種自適應浮動載物裝置，該裝置通過浮動件在支撐座上旋轉實現對浮動臺位置的調整，進而實現浮動臺適應晶棒端面，浮動件通過支撐座配合缸體壓縮實現鎖緊并定位，進而實現浮動臺位置的固定，晶棒置于浮動臺上，通過浮動臺位置的調整實現晶棒位置的調整，使晶棒的位置滿足晶棒檢晶線和檢測同軸度的需求。

附圖說明