[實用新型]一種用于微型元件轉移的轉移承載裝置有效
| 申請號: | 202020938961.8 | 申請日: | 2020-05-28 |
| 公開(公告)號: | CN212182274U | 公開(公告)日: | 2020-12-18 |
| 發明(設計)人: | 李強;許時淵;孔琴;向毅 | 申請(專利權)人: | 重慶康佳光電技術研究院有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/677;H01L33/00 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 江舟 |
| 地址: | 402760 重慶市璧*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 微型 元件 轉移 承載 裝置 | ||
本實用新型涉及一種用于微型元件轉移的轉移承載裝置,該用于微型元件轉移的轉移承載裝置包括光源模塊;光調制模塊,設置在光源模塊的出光側;轉移安裝模塊,設置在光調制模塊的出光側;其中,轉移安裝模塊包括間隔設置的遮光擋墻以及用于放置微型元件的轉移元件,轉移元件設置在各個相鄰的遮光擋墻之間。該用于微型元件轉移的轉移承載裝置,通過間隔設置的遮光擋墻,可有效的防止光線對不需要轉移區域的影響,有助于實現更精確的微型元件的選擇性轉移。
技術領域
本實用新型涉及顯示技術領域,尤其涉及用于微型元件轉移的轉移承載裝置。
背景技術
微型元件,如微型發光二極管(Light Emitting Diode,LED)由于其具有良好的穩定性,壽命長,以及具有低功耗、色彩飽和度高、反應速度快、對比度強等優點,故其被廣泛地應用于顯示器件中。而在微型LED顯示器件的生產過程中,要把數百萬甚至數千萬顆微米級的LED芯片正確且有效率的移動到顯示背板上,這個過程被稱為巨量轉移。
在現有的技術中,先將待轉移的LED芯片放置于暫存基板上,然后將暫存基板上的所有LED芯片通過一次或兩次轉移轉移至顯示背板中;但顯示背板在經過一次巨量轉移后,往往會由于各種原因,而導致顯示背板中部分位置未能成功安裝LED芯片,故其需要額外的檢修設備在未能成功安裝LED芯片的位置上,重新有目標的地安裝LED芯片;因此,為了保證巨量轉移的順利完成,其需要同時配備轉移設備和檢修設備,其導致生產的成本較高,且生產的效率也較低。
因此,如何克服上述技術難點是亟需解決的問題。
發明內容
鑒于上述現有技術的不足,本申請的目的在于提供用于微型元件轉移的轉移承載裝置,旨在實現更精確的微型元件的選擇性轉移。
本申請提供一種用于微型元件轉移的轉移承載裝置,所述用于微型元件轉移的轉移承載裝置包括:
光源模塊;
光調制模塊,設置在所述光源模塊的出光側;
轉移安裝模塊,設置在所述光調制模塊的出光側;
其中,所述轉移安裝模塊包括間隔設置的遮光擋墻以及用于放置微型元件的轉移元件,所述轉移元件設置在各個相鄰的所述遮光擋墻之間。
該用于微型元件轉移的轉移承載裝置,通過間隔設置的遮光擋墻,可有效的防止光線對不需要轉移區域的影響,有助于實現更精確的微型元件的選擇性轉移。
可選地,所述光調制模塊包括空間光調制器。
可選地,所述轉移安裝模塊還包括設置在所述光調制模塊的出光側表面的透光膠層;
所述轉移元件設置在所述透光膠層之上。
可選地,所述光源模塊包括發光源以及光學透鏡;
所述發光源設置在所述光學透鏡的焦點處。
可選地,所述轉移元件至少包括以下之一:光膨脹轉移元件、光收縮轉移元件。
可選地,所述光調制模塊包括多個光控制單元,每個所述轉移元件對應一個所述光控制單元。
可選地,所述轉移元件包括靠近所述光調制模塊的第一表面以及遠離所述光調制模塊的第二表面;
所述轉移元件的第二表面用于放置所述微型元件;
所述轉移元件的第一表面在所述光調制模塊的正投影的面積大于所述微型元件在所述轉移元件的正投影的面積。
可選地,所述空間光調制器包括依次設置的第一偏光片、第一基板、液晶分子層、第二基板和第二偏光片;
所述第一偏光片設置在所述光源模塊的出光側;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





