[實用新型]一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器有效
| 申請號： | 202020930903.0 | 申請日： | 2020-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN212780508U | 公開（公告）日： | 2021-03-23 |
| 發明（設計）人： | 姜英琦;郎婷婷;俞雯婕 | 申請（專利權）人： | 中國計量大學 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41;B01L3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 流通 陣列 波導 光柵 傳感器 | ||
1.一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器，其特征在于：由寬帶光源(6)、輸入波導(1)、輸入自由傳輸區(2)、陣列波導(3)、微流通道(8)、輸出自由傳輸區(4)、輸出波導(5)、光電探測器陣列(7)構成；從寬帶光源(6)發出的光依次經過輸入波導、輸入自由傳輸區、帶有微流通道的陣列波導、輸出自由傳輸區后不同波長的光聚焦到各個輸出波導，并由光電探測器陣列接收，獲得不同波長的光功率。
2.根據權利要求1所述的一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器，其特征在于：所述的寬帶光源(6)和光電探測器陣列(7)，工作波段是1500nm至1600nm。
3.根據權利要求1所述的一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器，其特征在于：所述的微流通道(8)包含了進樣通道(10)、主體通道層(11)、出樣通道(12)、底部結構(13)；所述的進樣通道(10)和主體通道層(11)相連，主體通道層(11)和出樣通道(12)相連。
4.根據權利要求1所述的一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器，其特征在于：所述的輸入自由傳輸區(2)和輸出自由傳輸區(4)的結構為羅蘭圓結構，長度為3500微米，所述的陣列波導(3)數目為205，陣列波導間距為8微米，所述的輸出波導(5)數目為16。
5.根據權利要求1所述的一種具有微流通道的陣列波導光柵傳感器，其特征在于：所述的輸入波導(1)、輸入自由傳輸區(2)、陣列波導(3)、微流通道(8)、輸出自由傳輸區(4)、輸出波導(5)均基于二氧化硅波導結構，波導寬度和高度均為6微米。
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