[實用新型]一種半導體拋光液的旋轉輸送裝置

有效

• 申請號: 202020914605.2
• 申請日: 2020-05-27
• 公開（公告）號: CN212287264U
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 彭代全
• 申請（專利權）人: 上海裕詩實業有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 王一琦

1.一種半導體拋光液的旋轉輸送裝置，其特征在于，包括：

旋轉臂，包括豎管、旋轉頭、固定平臺和旋轉平臺，所述豎管與所述旋轉頭旋轉連接，漿液輸送管從所述豎管的底部穿入后從所述旋轉頭的頭部穿出；所述豎管的頂部與所述固定平臺固定連接，所述旋轉頭的底部與所述旋轉平臺固定連接，所述旋轉平臺位于所述固定平臺的上方；

定位機構，包括定位孔、套管、定位銷和彈性驅動單元，所述定位孔設置在所述旋轉平臺的尾部，所述套管固定在所述固定平臺的上表面，所述定位銷活動地穿設在所述套管內，所述彈性驅動單元與所述定位銷相連接，且所述定位銷與所述定位孔相配合；

當所述旋轉臂處于維護狀態時，所述彈性驅動單元拉動所述定位銷遠離所述定位孔，所述旋轉頭可相對于所述豎管自由旋轉，當所述旋轉臂處于工作狀態時，所述旋轉頭相對于所述豎管旋轉到初始位置，所述彈性驅動單元拉動所述定位銷卡入到所述定位孔中。

2.如權利要求1所述的半導體拋光液的旋轉輸送裝置，其特征在于，所述彈性驅動單元包括氣缸、連接桿、第一滑塊、第二滑塊和彈簧，所述氣缸固定在所述固定平臺的下表面，且所述氣缸的活塞桿端部與所述連接桿相連接，所述連接桿向上穿過所述固定平臺和套管后與所述第一滑塊相連接，所述第一滑塊和第二滑塊滑動地設置在所述套管內，且所述彈簧連接在所述第一滑塊和第二滑塊之間，所述第二滑塊還與所述定位銷的末端固定連接。

3.如權利要求2所述的半導體拋光液的旋轉輸送裝置，其特征在于，所述旋轉臂的尾部呈弧形。

4.如權利要求1所述的半導體拋光液的旋轉輸送裝置，其特征在于，所述定位孔的前部設有錐形導向孔。