[實用新型]晶圓打磨機構

有效

• 申請號: 202020898946.5
• 申請日: 2020-05-25
• 公開（公告）號: CN212553076U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 黃毅;陳章水;沈艷東;何飛舍;雷理
• 申請（專利權）人: 廣東長信精密設備有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B47/00;B24B47/12
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 顏希文;宋亞楠

本實用新型涉及晶圓加工領域，具體涉及了一種晶圓打磨機構，與加工主軸相鄰設置，包括基座、打磨機、第一驅動裝置和第二驅動裝置，打磨機通過第一驅動裝置和第二驅動裝置連接于基座，第一驅動裝置用于驅動打磨機沿加工主軸的軸向運動，第二驅動裝置用于驅動打磨機沿加工主軸的徑向運動，上述兩種驅動裝置使得打磨機能夠沿加工主軸的軸向和徑向運動，當打磨機在第一驅動裝置的驅動下沿加工主軸的軸向運動時，打磨機可在晶圓的軸向上相對晶圓運動，以對晶圓的外圓周面進行打磨，打磨機和晶圓的接觸面積是逐漸增大的，避免出現晶圓崩邊、碎片現象。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工領域，特別是涉及一種晶圓打磨機構。

背景技術

在某些集成電路的制造過程中，需要對晶圓的邊緣進行打磨修整。當晶圓的厚度較大時，現有的晶圓磨邊機直接對晶圓的邊緣進行磨邊極易發生崩邊、碎片現象，這是因為現有的晶圓磨邊機的砂輪只能夠沿晶圓的徑向運動以靠近或遠離晶圓，砂輪與晶圓的待加工圓周面的接觸面積較大。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型的目的是提供一種晶圓打磨機構，以解決現有的晶圓磨邊機對晶圓進行磨邊時容易發生崩邊、碎片現象。

基于此，本實用新型提供了一種晶圓打磨機構，所述晶圓打磨機構與加工主軸相鄰設置，包括基座、打磨機、第一驅動裝置和第二驅動裝置，所述打磨機通過所述第一驅動裝置和第二驅動裝置連接于所述基座，所述第一驅動裝置用于驅動所述打磨機沿所述加工主軸的軸向運動，所述第二驅動裝置用于驅動所述打磨機沿所述加工主軸的徑向運動。

作為優選的，還包括滑臺，所述滑臺連接于所述基座，所述第一驅動裝置包括設于所述滑臺的第一導軌以及活動地配合連接于所述第一導軌的滑塊，所述第一導軌沿所述加工主軸的軸向布置，所述打磨機連接于所述滑塊。

作為優選的，所述第二驅動裝置包括設于所述基座的第二導軌，所述第二導軌沿所述加工主軸的徑向布置，所述滑臺活動地配合連接于所述第二導軌。

作為優選的，所述第一驅動裝置還包括轉動連接于所述滑臺的第一螺桿以及活動地配合連接于所述第一螺桿的第一螺母，所述第一螺桿平行于所述第一導軌，所述第一螺母連接于所述滑塊。

作為優選的，所述第二驅動裝置還包括轉動連接于所述基座的第二螺桿以及活動地配合連接于所述第二螺桿的第二螺母，所述第二螺桿平行于所述第二導軌，所述第二螺母連接于所述滑臺。

作為優選的，所述滑臺包括轉動相連的固定件和活動件，所述固定件連接于所述基座，所述第一導軌設于所述活動件。

作為優選的，還包括鎖銷，所述固定件上開設有第一固定孔，所述活動件上開設有與所述第一固定孔同軸設置的第二固定孔，所述鎖銷穿設于所述第一固定孔和第二固定孔。

作為優選的，所述鎖銷上套接有彈性件，所述彈性件的兩端分別連接于所述活動件和鎖銷。

作為優選的，所述打磨機包括電動機以及連接于所述電動機的轉軸的砂輪。

作為優選的，所述打磨機還包括與所述電動機相連接的防塵罩，所述防塵罩環繞所述砂輪設置，且所述防塵罩上設有用于將所述砂輪的側邊暴露于外界的缺口。

本實用新型的晶圓打磨機構，與加工主軸相鄰設置，包括基座、打磨機、第一驅動裝置和第二驅動裝置，打磨機通過第一驅動裝置和第二驅動裝置連接于基座，第一驅動裝置用于驅動打磨機沿加工主軸的軸向運動，第二驅動裝置用于驅動打磨機沿加工主軸的徑向運動，上述兩種驅動裝置使得打磨機能夠沿加工主軸的軸向和徑向運動，當打磨機在第一驅動裝置的驅動下沿加工主軸的軸向運動時，打磨機可在晶圓的軸向上相對晶圓運動，以對晶圓的外圓周面進行打磨，打磨機和晶圓的接觸面積是逐漸增大的，避免出現晶圓崩邊、碎片現象。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的晶圓打磨機構的立體結構示意圖之一；