[實用新型]壓電換能器以及流體噴射裝置

有效

• 申請號: 202020878400.3
• 申請日: 2020-05-22
• 公開（公告）號: CN212182361U
• 公開（公告）日: 2020-12-18
• 發明（設計）人: D·阿斯薩內利;I·馬蒂尼;L·文奇蓋拉;C·M·拉扎里;P·費拉里尼
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/09;H01L41/29;B05B17/06
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 董莘

1.一種壓電換能器，其特征在于，包括：

導電材料的底部電極，所述底部電極在半導體本體上；

壓電元件，所述壓電元件位于所述底部電極上并與所述底部電極直接電接觸；

第一保護層，所述第一保護層在所述底部電極上和所述壓電元件上延伸，其中所述第一保護層包括第一開口和第二開口，所述第一開口到達所述壓電元件的一部分，所述第二開口到達所述底部電極的一部分；

頂部電極，所述頂部電極通過所述第一開口與所述壓電元件直接電接觸；

第一偏置條帶，所述第一偏置條帶在所述第一保護層上并與所述頂部電極直接電接觸；以及

第二偏置條帶，所述第二偏置條帶在所述第一保護層上并通過所述第二開口與所述底部電極直接電接觸。

2.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，還包括第二保護層，所述第二保護層在所述頂部電極、所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶上延伸并與所述頂部電極、所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶直接接觸，

其中所述第二保護層具有在所述第一偏置條帶處的第一過孔以及在所述第二偏置條帶處的第二過孔，從而分別暴露所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶的表面部分。

3.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述第一保護層包括多個堆疊的鈍化層。

4.根據權利要求3所述的壓電換能器，其特征在于，所述多個堆疊的鈍化層由氧化鋁層和二氧化硅層構成。

5.根據權利要求1所述的壓電換能器，其特征在于，所述壓電元件具有PZT材料。

6.一種流體噴射裝置，其特征在于，包括：

本體，所述本體具有入口孔和出口噴嘴；

在所述本體內的室，所述室被配置為容納待噴射的流體，所述室在所述入口孔和所述出口噴嘴之間流體耦合；

膜，所述膜面對所述室；以及

壓電致動器，被布置在所述膜上，并且被配置為以如下方式被致動：使得引起所述膜朝向所述室和/或遠離所述室的移位；

其中所述壓電致動器包括：

導電材料的底部電極，所述底部電極在半導體本體上；

壓電元件，所述壓電元件在所述底部電極上并與所述底部電極直接電接觸；

第一保護層，所述第一保護層在所述底部電極和所述壓電元件上延伸，并具有第一開口和第二開口，所述第一開口到達所述壓電元件的一部分，所述第二開口到達所述底部電極的一部分；

頂部電極，所述頂部電極通過所述第一開口與所述壓電元件直接電接觸；

第一偏置條帶，所述第一偏置條帶在所述第一保護層上、與所述頂部電極直接電接觸；以及

第二偏置條帶，所述第二偏置條帶在所述第一保護層上、通過所述第二開口與所述底部電極直接電接觸。

7.根據權利要求6所述的流體噴射裝置，其特征在于，所述壓電致動器還包括第二保護層，所述第二保護層在所述頂部電極、所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶上延伸，并與所述頂部電極、所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶直接接觸；

其中所述第二保護層具有在所述第一偏置條帶處的第一過孔和在所述第二偏置條帶處的第二過孔，從而分別暴露所述第一偏置條帶和所述第二偏置條帶的表面部分。

8.根據權利要求6所述的流體噴射裝置，其特征在于，所述第一保護層包括多個堆疊的鈍化層。

9.根據權利要求8所述的流體噴射裝置，其特征在于，所述多個堆疊的鈍化層由氧化鋁層和二氧化硅層構成。