[實用新型]熱蒸發源爐

有效

• 申請號: 202020869458.1
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN212223085U
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 金鵬;王占國
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 劉歌

1.一種熱蒸發源爐，其特征在于，包括：

分段式全包圍熱屏蔽筒，所述分段式全包圍熱屏蔽筒底部與源爐法蘭的上法蘭面相連；所述分段式全包圍熱屏蔽筒包括：

下分熱屏蔽筒，所述下分熱屏蔽筒底部與源爐法蘭的上法蘭面相連；

上分熱屏蔽筒，所述上分熱屏蔽筒底部與所述下分熱屏蔽筒頂部相連；

加熱裝置底板，設置于所述上分熱屏蔽筒和所述下分熱屏蔽筒相連處；

坩堝，與所述分段式全包圍熱屏蔽筒頂部密封相連；

加熱裝置，設置在所述分段式全包圍熱屏蔽筒內，對所述坩堝進行加熱；

加熱裝置底部屏蔽板，設置于所述分段式全包圍熱屏蔽筒內并位于加熱裝置底板上部，屏蔽加熱裝置工作時向下輻射的熱量；

溫度測量裝置，設置在所述分段式全包圍熱屏蔽筒內，對坩堝底部溫度進行測量。

2.根據權利要求1所述的熱蒸發源爐，其特征在于，所述溫度測量裝置包括：

法蘭內側熱電偶接線柱，設置于所述分段式全包圍熱屏蔽筒內；

法蘭外側熱電偶接線柱，與所述法蘭內側熱電偶接線柱一體相連并穿過源爐法蘭；所述法蘭外側熱電偶接線柱與所述源爐法蘭間密封相連，且電絕緣；

熱電偶絲，與所述法蘭內側熱電偶接線柱相連，且所述熱電偶絲置于所述坩堝底部。

3.根據權利要求1所述的熱蒸發源爐，其特征在于，所述加熱裝置包括：

法蘭內側加熱電極，設置在所述分段式全包圍熱屏蔽筒內；

法蘭外側加熱電極，與所述法蘭內側加熱電極一體相連并穿過源爐法蘭；所述法蘭外側加熱電極與所述源爐法蘭間密封相連，且電絕緣；

加熱器，與所述法蘭內側加熱電極通過加熱器引線相連；

在所述法蘭外側加熱電極上施加電壓，所述加熱器產生電流并對所述坩堝進行加熱；

所述法蘭內側加熱電極和所述法蘭外側加熱電極為圓柱形結構，所述法蘭內側加熱電極和所述法蘭外側加熱電極的材料為銅、鉬、鎳中一種或多種。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的熱蒸發源爐，其特征在于，所述分段式全包圍熱屏蔽筒的數量為1-10個，多個所述分段式全包圍熱屏蔽筒的直徑各不相同，呈套設分布。

5.根據權利要求1至3中任一項所述的熱蒸發源爐，其特征在于，所述加熱裝置底板的材料為鉬或鉭；所述加熱裝置底板上設有過線孔；所述加熱裝置底部屏蔽板包括至少一層鉭片，所述鉭片數量為1-100；所述加熱裝置底部屏蔽板上設有過線孔；所述坩堝的材料為熱解氮化硼、石墨、鉬、鉭、鎢中任一種；所述坩堝為帶邊緣的試管型或帶邊緣的錐形；所述源爐法蘭的材料為不銹鋼、鋁合金、鈦合金中任一種。

6.一種熱蒸發源爐，其特征在于，包括：

整體式全包圍熱屏蔽筒，所述整體式全包圍熱屏蔽筒底部與源爐法蘭的上法蘭面相連；

加熱裝置底板，設置于所述整體式全包圍熱屏蔽筒內部；

坩堝，與所述整體式全包圍熱屏蔽筒頂部密封相連；

加熱裝置，設置在所述整體式全包圍熱屏蔽筒內，對所述坩堝進行加熱；

加熱裝置底部屏蔽板，設置于所述整體式全包圍熱屏蔽筒內并位于加熱裝置底板上部，屏蔽加熱裝置工作時向下輻射的熱量；

溫度測量裝置，設置在所述整體式全包圍熱屏蔽筒內，對坩堝底部溫度進行測量。

7.根據權利要求6所述的熱蒸發源爐，其特征在于，所述溫度測量裝置包括：

法蘭內側熱電偶接線柱，設置于所述整體式全包圍熱屏蔽筒內；

法蘭外側熱電偶接線柱，與所述法蘭內側熱電偶接線柱一體相連并穿過源爐法蘭；所述法蘭外側熱電偶接線柱與所述源爐法蘭間密封相連，且電絕緣；

熱電偶絲，與所述法蘭內側熱電偶接線柱相連，且所述熱電偶絲置于所述坩堝底部。