[實用新型]一種偏振均勻平行光產生裝置及自動光學檢測系統

有效

• 申請號: 202020868488.0
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN212207138U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 洪志坤;范景洋;張勝森;歐昌東;鄭增強
• 申請（專利權）人: 武漢精立電子技術有限公司;武漢精測電子集團股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/25;G01B11/00;G01B11/02
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224
• 代理人: 王聰聰

1.一種偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，包括光源、光束均勻與平行組件、第一起偏器、半透半反鏡和第二起偏器；

所述光束均勻與平行組件、第一起偏器、半透半反鏡依次設置在光源出射光束的光路上，所述第二起偏器位于半透半反鏡遠離所述第一起偏器的一側且與第一起偏器垂直設置；

所述光束均勻與平行組件對光源出射光束進行處理后形成照度均勻的平行光；所述平行光透過所述第一起偏器后形成線偏振光，射向所述半透半反鏡的所述線偏振光經反射后垂直照射在待測物品的表面；

該線偏振光與待測物品的表面缺陷作用后產生偏振態發生變化的散射光，與待測物品的表面作用后產生偏振態未變化的鏡面反射光；所述散射光和鏡面反射光經過半透半反鏡后射向第二起偏器，該第二起偏器的偏振方向被配置為與第一起偏器呈90°，用以濾除鏡面反射光且允許散射光通過。

2.如權利要求1所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，所述半透半反鏡與第一起偏器、第二起偏器之間的夾角為45°。

3.如權利要求1所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，所述光束均勻與平行組件包括光源出射光束的光路上依次設置的光源收集透鏡、第一菲涅爾透鏡和第二菲涅爾透鏡；

所述光源收集透鏡對光源出射光束進行會聚后射向第一菲涅爾透鏡，經過第一菲涅爾透鏡得到均勻光，所述均勻光經第二菲涅爾透鏡處理后得到照度均勻的平行光。

4.如權利要求1所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，所述光源包括至少兩種顏色的發光體，通過控制不同顏色的發光體的開閉和/或工作電流來調節光源輸出的光束的顏色。

5.如權利要求1所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，還包括呈“凸”字型的外殼，光源、光束均勻與平行組件、第一起偏器和半透半反鏡設置在所述外殼的內部，構成光源出射光束的第一傳輸通道；第二起偏器設置在外殼的一端面上，其與半透半反鏡構成散射光和鏡面反射光的第二傳輸通道，所述第二傳輸通道與第一傳輸通道相互垂直。

6.如權利要求5所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，所述外殼的內表面采用鋸齒結構且涂覆有黑色圖層，用以吸收雜散光。

7.如權利要求5所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，還包括無色透明的護蓋板，所述護蓋板設置在外殼上與第二起偏器相對的另一端面上。

8.如權利要求5所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，所述第一、第二起偏器采用可插拔的方式安裝在外殼的內部。

9.如權利要求1所述的偏振均勻平行光產生裝置，其特征在于，還包括散熱機構，所述散熱機構設置于光源非發光面的一側，用于吸收并釋放光源在工作過程中產生的熱量。

10.一種自動光學檢測系統，其特征在于，包括權利要求1～9任一項所述的偏振均勻平行光產生裝置，還包括圖像采集器；所述圖像采集器設置于第二起偏器的上方，通過捕獲從第二起偏器中出射的散射光成像。