[實用新型]一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置有效
| 申請號： | 202020859265.8 | 申請日： | 2020-05-21 |
| 公開（公告）號： | CN212451624U | 公開（公告）日： | 2021-02-02 |
| 發明（設計）人： | 朱雙林;李春敏;馬國忠;胡人文;王恩強;黃道平;沈偉 | 申請（專利權）人： | 蘇州索科特新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/44 | 分類號： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 沉積 漏氣 處理 裝置 | ||
1.一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，包括爐體(1)，其特征在于，所述爐體(1)的外部包裹有隔熱層(2)，所述隔熱層(2)的外部包裹有防漏氣包裹層(3)，所述防漏氣包裹層(3)的一側通過法蘭盤固定連接有抽氣管(4)，且防漏氣包裹層(3)上開設有若干個通孔(8)，所述通孔(8)的內部通過粘合劑粘接有氣囊(9)，所述爐體(1)的兩側均固定連接有爐體管道(5)，所述爐體管道(5)固定連接有連接管道(6)。
2.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，其特征在于，所述防漏氣包裹層(3)的四側均通過螺絲安裝有紅外傳感器(7)。
3.根據權利要求1所述的一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，其特征在于，所述防漏氣包裹層(3)的內壁開設有通槽，通槽的內部粘接有橡膠墊(10)，所述連接管道(6)的外側設置有一體結構的密封圈(11)，所述橡膠墊(10)包裹在所述密封圈(11)的外部，且連接管道(6)穿過所述通槽的內部。
4.根據權利要求3所述的一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，其特征在于，所述通槽的內壁兩側均開設有凹槽(13)，凹槽(13)的內部滑動連接有擠壓塊(12)，所述擠壓塊(12)的端部與橡膠墊(10)壓緊接觸。
5.根據權利要求4所述的一種化學氣相沉積爐漏氣處理裝置，其特征在于，所述凹槽(13)的內壁通過卡扣固定連接有彈簧(14)，彈簧(14)的另一端通過卡扣與所述擠壓塊(12)的一側固定連接。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
