[實用新型]一種具有溫度補償功能的試驗裝置有效
| 申請號： | 202020858680.1 | 申請日： | 2020-05-20 |
| 公開（公告）號： | CN212363621U | 公開（公告）日： | 2021-01-15 |
| 發明（設計）人： | 張海民;賽建剛;高斌;王亞軍;趙燕;高博;韓磊;段炯 | 申請（專利權）人： | 中國科學院西安光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G01M13/00 | 分類號： | G01M13/00;F04B41/06;F04B37/14;F04B49/22;F04B49/24;G05D27/02 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陜西省西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 溫度 補償 功能 試驗裝置 | ||
1.一種具有溫度補償功能的試驗裝置，包括試驗箱(1)和真空系統(2)，其特征在于：還包括外密封腔壓力傳感器(8)、內密封腔壓力傳感器(9)及設置在試驗箱(1)內的內箱(3)和溫度補償系統；
所述內箱(3)外壁與試驗箱(1)內壁之間存在距離，試驗箱(1)內壁和內箱(3)外壁之間形成外密封腔(4)，內箱(3)內壁之間形成內密封腔(5)；
所述外密封腔(4)與真空系統(2)相連；
所述內箱(3)上設有多個單向散氣孔(6)，單向散氣孔(6)的進口位于內密封腔(5)內，出口位于外密封腔(4)內；
所述溫度補償系統設置在內密封腔(5)內，用于對內密封腔(5)進行加熱；
所述外密封腔壓力傳感器(8)設置在外密封腔(4)內，其輸出端設置在試驗箱(1)外部；
所述內密封腔壓力傳感器(9)設置在內密封腔(5)內，其輸出端依次穿過內箱(3)、外密封腔(4)、試驗箱(1)，設置在試驗箱(1)外部。
2.根據權利要求1所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：所述單向散氣孔(6)的直徑小于10mm。
3.根據權利要求2所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：內箱(3)上每100mm2設有2個單向散氣孔(6)，所有單向散氣孔(6)的孔心距相等。
4.根據權利要求1或2或3所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：所述溫度補償系統包括設置在內箱(3)內壁上的加熱器(71)和設置在內箱(3)中待參試產品(11)上的溫度傳感器(72)。
5.根據權利要求4所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：所述加熱器(71)為多個，且均勻布置在內箱(3)內壁上。
6.根據權利要求5所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：所述加熱器(71)為聚酰亞胺薄膜電加熱器，溫度傳感器(72)為鉑電阻溫度傳感器。
7.根據權利要求1所述具有溫度補償功能的試驗裝置，其特征在于：所述內箱(3)外壁與試驗箱(1)內壁之間的距離為100mm～300mm。
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