[實用新型]一種便于拆卸及更換的尾氣處理器

有效

• 申請號: 202020853329.3
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN212255246U
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 田明雨;甘澤光
• 申請（專利權）人: 深圳融科半導體裝備有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產權代理有限公司 50219
• 代理人: 沈鋒

本實用新型涉及尾氣處理監視領域，尤其涉及一種便于拆卸及更換的尾氣處理器，包括：前置接頭、后置接頭、襯套管、尾氣顯示管和密封膠圈；所述前置接頭內開設有進氣接管，所述后置接頭內開設有出氣接管；所述尾氣顯示管為空心管體，內設有吸附空腔；采用本實用新型，密封膠圈設置在尾氣顯示管的兩端，用于密封與前置接頭和后置接頭的連接處，保證尾氣在尾氣顯示管內，被成功吸附，便于尾氣處理效果的監視與觀察；在結構方面，通過后置接頭的拆裝，可以快速拆卸尾氣顯示管，實現對尾氣顯示管的更換與檢查，整體需要檢修時，只需對前置接頭進行拆裝，就能實現整體的拆卸與維護；避免了以往更換方式的資源的浪費，減少了檢修與維護過程的時間。

技術領域

本實用新型涉及尾氣處理監視領域，尤其涉及一種便于拆卸及更換的尾氣處理器。

背景技術

在半導體及光伏產業行業內的特氣設備的尾氣處理中，對于尾氣處理效果都設計有監視裝置—尾氣顯示管。

隨著生產節奏的加快，以及產業產能的升級，現經常遇到特殊情況：1.對于尾氣顯示管中的吸附材料需要經常更換，才能確保實時監測到前段尾氣罐的工作狀況；2.尾氣處理裝置需經常維護，應確保維護工作的質量性。

這時候現有的普通的的尾氣顯示管顯然不適用，其不具備頻繁拆裝與快速更換拆解的能力，無法適應現在的尾氣處理段的生產需要。

實用新型內容

本實用新型目的是在于提供一種可以快速拆解，更換，并且結構簡單的尾氣顯示管。

一種便于拆卸及更換的尾氣處理器，包括：前置接頭、后置接頭、襯套管、尾氣顯示管和密封膠圈；

所述前置接頭內開設有進氣接管，所述后置接頭內開設有出氣接管；所述尾氣顯示管為空心管體，內設有吸附空腔；

所述前置接頭的一端連接前置特氣設備出氣端，另一端通過螺紋連接，套接伸入尾氣顯示管，所述尾氣顯示管的另一端通過螺紋連接，套接包裹住后置接頭的一端，所述密封膠圈用于前置接頭和后置接頭與尾氣顯示管套接連接處的密封；所述襯套管套設在尾氣顯示管上，襯套管的兩端分別連接前置接頭和后置接頭；所述進氣接管連通吸附空腔，再通過出氣接管送出尾氣。

進一步的，所述前置接頭包括進氣連接頭和前置螺紋頭；所述進氣連接頭用于連接特氣設備出氣端。

進一步的，所述后置接頭包括后置螺紋頭和出氣連接頭；所述出氣連接頭用于連接后置的集氣設備或處理設備。

進一步的，所述尾氣顯示管的兩端端頭設有放置槽和內螺紋槽；所述放置槽用于安裝密封膠圈，所述內螺紋槽用于配合安裝前置接頭和后置接頭。

進一步的，所述密封膠圈的材質為全氟橡膠。

進一步的，所述后置接頭為VCR接頭。

本實用新型的有益效果是：

采用本實用新型，前置接頭包裹并固定進氣接管，并與尾氣顯示管螺紋套接，所述尾氣通過進氣接管7進入尾氣顯示管，所述尾氣顯示管的另一端螺紋套接于后置接頭，尾氣顯示管與出氣接管連通，尾氣在尾氣顯示管中吸附后，通過出氣結構排出至后段設備；密封膠圈設置在尾氣顯示管的兩端，用于密封與前置接頭和后置接頭的連接處，保證尾氣在尾氣顯示管內，被成功吸附，便于尾氣處理效果的監視與觀察；在結構方面，通過后置接頭的拆裝，可以快速拆卸尾氣顯示管，實現對尾氣顯示管的更換與檢查，整體需要檢修時，只需對前置接頭進行拆裝，就能實現整體的拆卸與維護；避免了以往更換方式的資源的浪費，減少了檢修與維護過程的時間。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖；

圖2是本實用新型的前置接頭的示意圖；

圖3是本實用新型的后置接頭的示意圖；