[實用新型]一種嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020833686.3
• 申請日: 2020-05-18
• 公開（公告）號: CN211743174U
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 熊繼光;趙志國;秦校軍;鄔俊波;董超
• 申請（專利權(quán)）人: 中國華能集團有限公司;中國華能集團清潔能源技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/049
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司 61200
• 代理人: 房鑫

本實用新型公開了一種嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板，包括外邊框骨架、若干內(nèi)邊框骨架及若干電極背板，其中，外邊框骨架設(shè)置有若干方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)，其中，一個方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)對應(yīng)一個內(nèi)邊框骨架及一個電極背板，內(nèi)邊框骨架內(nèi)嵌并固定于對應(yīng)方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)內(nèi)，電極背板固定于對應(yīng)內(nèi)邊框骨架的背面上，該掩膜板能夠在一次蒸鍍過程中蒸鍍不同的電極圖案及不同基片大小的薄膜太陽能電池。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種掩膜板，具體涉及一種嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板。

背景技術(shù)

鈣鈦礦太陽能電池作為一種新型太陽能電池發(fā)展非常迅速，目前國內(nèi)很多高校和研究所都有與之相關(guān)的研究課題。鈣鈦礦太陽能電池自從2009年發(fā)現(xiàn)以來其光電轉(zhuǎn)換效率已從3.8％提升到如今的25％以上，其光電轉(zhuǎn)換效率已接近或超過市面上傳統(tǒng)晶硅、銅銦鎵硒以和碲化鎘電池。與傳統(tǒng)晶硅電池相比，鈣鈦礦太陽能電池的優(yōu)勢在于工藝簡單，且成本大幅降低。鈣鈦礦太陽能電池通常由多層不同功能的材料薄膜組成，薄膜的制備可采用旋涂、真空蒸鍍、磁控濺射等工藝進行制備。

一般來說，金屬電極(例如作為電極的金、銀、鋁等)通常采用氣相沉積法鍍膜。氣相沉積法使用特定圖案的掩膜板來蒸鍍所需電極，掩膜板由特定數(shù)量的相同方格組成，每個格子容納并固定基片；格子內(nèi)的鍍膜區(qū)域為蒸鍍電極的圖案。通常情況下一次蒸鍍只能選擇一種特定圖案和特定基片大小的掩膜版，而實驗中有時會遇到需要蒸鍍不同電極圖案，甚至不同基片大小的太陽能電池的情況，如果分多次蒸鍍將會浪費時間和浪費電極材料。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，提供了一種嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板，該掩膜板能夠在一次蒸鍍過程中蒸鍍不同的電極圖案及不同基片大小的薄膜太陽能電池。

為達到上述目的，本實用新型所述的嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板包括外邊框骨架、若干內(nèi)邊框骨架及若干電極背板，其中，外邊框骨架設(shè)置有若干方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)，其中，一個方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)對應(yīng)一個內(nèi)邊框骨架及一個電極背板，內(nèi)邊框骨架內(nèi)嵌并固定于對應(yīng)方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)內(nèi)，電極背板固定于對應(yīng)內(nèi)邊框骨架的背面上。

方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)上沿周向設(shè)置有嵌合槽，內(nèi)邊框骨架的外周面嵌合于所述嵌合槽內(nèi)。

方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)的一個角的位置處開設(shè)有第一3/4圓柱槽。

內(nèi)邊框骨架分為若干方形鍍膜區(qū)。

方形鍍膜區(qū)的一個角處設(shè)置有第二3/4圓柱槽。

電極背板上設(shè)置有若干電極圖案區(qū)域，其中一個電極圖案區(qū)域?qū)?yīng)一個方形鍍膜區(qū)，且各電極圖案區(qū)域正對對應(yīng)的方形鍍膜區(qū)。

電極背板焊接固定于內(nèi)邊框骨架上。

內(nèi)邊框骨架上設(shè)置有與對應(yīng)方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)上第一3/4圓柱槽相配合的凸起。

本實用新型具有以下有益效果：

本實用新型所述的嵌合式薄膜太陽能電池掩膜板在具體操作時，采用模塊化設(shè)計的思路，內(nèi)邊框骨架內(nèi)嵌并固定于對應(yīng)方形內(nèi)邊框骨架嵌合區(qū)內(nèi)，電極背板固定于對應(yīng)內(nèi)邊框的背面上，通過拼裝組合的方式形成掩膜板，同時，各電極背板及內(nèi)邊框骨架可以單獨設(shè)計及安裝，各電極背板上的電極圖案可以根據(jù)需要自行設(shè)計，以組合出不同的掩膜板，從而適應(yīng)不同基片大小的薄膜太陽能電池，減少蒸鍍次數(shù)和蒸鍍損耗，以節(jié)省時間和成本。

附圖說明

圖1為本實用新型中外邊框骨架11的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型中內(nèi)邊框骨架22的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型中電極背板32的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。