[實用新型]一種半導體加工用檢測裝置

有效

• 申請號: 202020831996.1
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN212568509U
• 公開（公告）日: 2021-02-19
• 發明（設計）人: 艾文喆
• 申請（專利權）人: 艾文喆
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 西安志帆知識產權代理事務所(普通合伙) 61258
• 代理人: 侯峰;韓素蘭

1.一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上表面安裝有調高桿(2)和立板(8)，所述調高桿(2)的伸縮端豎直向上且連接有水平延伸的承載板(3)，所述承載板(3)表面安裝有放大鏡(4)；

所述立板(8)豎直延伸，所述立板(8)靠近所述調高桿(2)的側面轉動安裝有水平延伸的旋轉軸(7)，所述旋轉軸(7)遠離所述立板(8)的端部連接有固定架(6)，所述固定架(6)位于所述放大鏡(4)正下方，所述固定架(6)相對的兩內壁轉動安裝有彈性伸縮桿(5)，所述彈性伸縮桿(5)的旋轉方向和所述旋轉軸(7)的旋轉方向垂直，兩根所述彈性伸縮桿(5)的伸縮端相對且連接有夾緊塊(11)，用于對半導體進行夾緊固定。

2.根據權利要求1所述一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：所述調高桿(2)包括承載管(201)，所述承載管(201)外壁貫穿設置有升降槽(202)，所述承載管(201)上端內部通過軸承安裝有承載套(204)，所述承載套(204)上端穿出所述承載管(201)且連接有調節螺母(206)，所述調節螺母(206)內部通過螺紋安裝有升降絲杠(205)，所述升降絲杠(205)上端與所述承載板(3)相連接，所述升降絲杠(205)底端伸入所述承載管(201)內部且連接有導向桿(203)，所述導向桿(203)與所述升降槽(202)間隙配合。

3.根據權利要求1所述一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：所述彈性伸縮桿(5)遠離所述夾緊塊(11)的端部貫穿所述固定架(6)且連接有旋轉板(9)。

4.根據權利要求3所述一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：所述彈性伸縮桿(5)包括固定管(501)，所述固定管(501)轉動安裝在所述固定架(6)內壁，所述固定管(501)一端密封另一端開口，所述固定管(501)的密封端貫穿所述固定架(6)且與所述旋轉板(9)相連接，所述固定管(501)的開口端靠近所述固定架(6)的中心且安裝有導向環(503)，所述導向環(503)內部滑動安裝有滑動桿(504)，所述滑動桿(504)外端與所述夾緊塊(11)相連接，所述滑動桿(504)內端伸入所述固定管(501)內部且連接有滑動塊(505)，所述滑動塊(505)與所述固定管(501)的密封端之間連接有壓緊彈簧(502)。

5.根據權利要求1所述一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：所述夾緊塊(11)的表面設置有硅膠。

6.根據權利要求1所述一種半導體加工用檢測裝置，其特征在于：所述承載板(3)底面嵌入有環形燈(10)，所述環形燈(10)位于所述放大鏡(4)外側。