[實用新型]陣列測試器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020798700.0 | 申請日： | 2020-05-14 |
| 公開（公告）號： | CN212782674U | 公開（公告）日： | 2021-03-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 閔慶俊;金埈煐;金熙根 | 申請（專利權(quán)）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分類號： | G09G3/00 | 分類號： | G09G3/00;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 王建國;許偉群 |
| 地址： | 韓國慶*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 陣列 測試 | ||
1.一種陣列測試器，用于檢測形成在基板上的缺陷，其特征在于，包括：
固定體單元；
自由體單元，以能夠移動的方式結(jié)合于所述固定體單元；
壓電間隙校正單元，一側(cè)結(jié)合于所述固定體單元，另一側(cè)結(jié)合于所述自由體單元，所述壓電間隙校正單元能夠調(diào)整所述固定體單元與所述自由體單元之間的距離；以及
調(diào)制器單元，結(jié)合于所述自由體單元，并且與一個玻璃面板相對。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測試器，其特征在于，
所述壓電間隙校正單元包括：
第一結(jié)合體，結(jié)合于所述固定體單元；
第二結(jié)合體，結(jié)合于所述自由體單元；
壓電致動器，一側(cè)結(jié)合于所述第一結(jié)合體，另一側(cè)結(jié)合于所述第二結(jié)合體；以及
傳感器，檢測所述調(diào)制器單元與所述玻璃面板之間的間隙，
所述壓電致動器利用與從所述傳感器檢測到的所述間隙相關(guān)的信息，調(diào)整所述固定體單元與所述自由體單元之間的距離。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列測試器，其特征在于，
所述調(diào)制器單元包括調(diào)制器以及結(jié)合所述調(diào)制器的體框架，
以與玻璃面板相對的方式，所述體框架安裝于所述自由體單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列測試器，其特征在于，
所述調(diào)制器和所述傳感器位于與所述玻璃面板相對并具有相同的隔開距離的相同面。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的陣列測試器，其特征在于，
所述壓電間隙校正單元在所述自由體單元和所述固定體單元安裝有多個。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列測試器，其特征在于，
在所述自由體單元形成有第一減振部件固定部，在所述固定體單元形成有第二減振部件固定部，
所述自由體單元還包括：減振部件，一側(cè)結(jié)合于所述第一減振部件固定部，另一側(cè)結(jié)合于所述第二減振部件固定部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列測試器，其特征在于，
所述減振部件包括內(nèi)側(cè)減振部件和外側(cè)減振部件，
所述第一減振部件固定部包括第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部和第一外側(cè)減振部件固定部，
所述第一外側(cè)減振部件固定部形成于所述自由體單元的外側(cè)邊緣部，所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部形成于比所述第一外側(cè)減振部件固定部靠自由體單元的內(nèi)側(cè)處，
所述第二減振部件固定部包括：與所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部對應(yīng)的第二內(nèi)側(cè)減振部件固定部；以及與所述第一外側(cè)減振部件固定部對應(yīng)的第二外側(cè)減振部件固定部，
所述內(nèi)側(cè)減振部件結(jié)合于所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部和所述第二內(nèi)側(cè)減振部件固定部，
所述外側(cè)減振部件結(jié)合于所述第一外側(cè)減振部件固定部和所述第二外側(cè)減振部件固定部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列測試器，其特征在于，
所述內(nèi)側(cè)減振部件和所述外側(cè)減振部件在分別結(jié)合于所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部和所述第一外側(cè)減振部件固定部時，在所述自由體單元升降的方向上具有高度偏差。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的陣列測試器，其特征在于，
所述第一外側(cè)減振部件固定部在所述自由體單元的角部形成有四個，所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部形成有三個，
所述壓電間隙校正單元在所述自由體單元的一側(cè)安裝有一個，在所述自由體單元的另一側(cè)安裝有兩個，
三個所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部中的一個形成于在所述自由體單元的另一側(cè)安裝的兩個壓電間隙校正單元之間，三個所述第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部中的兩個形成于在所述自由體單元的一側(cè)安裝的一個壓電間隙校正單元兩側(cè)，
三個所述內(nèi)側(cè)減振部件分別結(jié)合于第一內(nèi)側(cè)減振部件固定部，一個所述內(nèi)側(cè)減振部件位于兩個所述壓電間隙校正單元之間，兩個所述內(nèi)側(cè)減振部件位于一個所述壓電間隙校正單元兩側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陣列測試器，其特征在于，
所述減振部件由氟橡膠構(gòu)成。
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