[實用新型]一種雙層玻璃基板的激光切割裝置

有效

• 申請號: 202020797223.6
• 申請日: 2020-05-13
• 公開（公告）號: CN212315935U
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 蘇展民;莊昌輝;馮玙璠;朱建;張耀;張小軍;邱越渭;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: C03B33/08
• 分類號: C03B33/08;C03B33/07;B23K26/38;B23K26/064
• 代理公司: 深圳市道臻知識產權代理有限公司 44360
• 代理人: 陳琳

1.一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括：

外殼；

分光元件，設置在外殼內，用于將激光束等分成兩束相同的激光束；

第一聚焦元件，用于接收所述分光元件分成的兩束激光束中的其中一束，并通過激光束切割待切割的雙層玻璃基板；

第二聚焦元件，與所述第一聚焦元件相對設置，用于接收所述分光元件分成的兩束激光束中的另一束，并通過激光束切割待切割的雙層玻璃基板；

載臺，用于放置待切割的雙層玻璃基板，使得待切割的雙層玻璃基板位于所述第一聚焦元件和第二聚焦元件之間。

2.如權利要求1所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括用于增大激光束焦深的第一光束整形元件和第二光束整形元件；所述第一光束整形元件設置在外殼內，且位于激光束從所述分光元件至所述第一聚焦元件的光路上；所述第二光束整形元件設置在外殼內，且位于激光束從所述分光元件至所述第二聚焦元件的光路上。

3.如權利要求2所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括設置在外殼內第一反射鏡和第二反射鏡；所述第一反射鏡用于將穿過所述第一光束整形元件的激光束反射到所述第一聚焦元件接收；所述第二反射鏡用于將穿過所述第二光束整形元件的激光束反射到所述第二聚焦元件接收。

4.如權利要求1所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括第一Z軸調節平臺，所述第一Z軸調節平臺與所述外殼連接；所述第一Z軸調節平臺用于帶動所述激光切割裝置整體沿Z軸方向移動，以改變所述第一聚焦元件到待切割的雙層玻璃基板的距離。

5.如權利要求4所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括與所述外殼連接的第二Z軸調節平臺，所述第二聚焦元件安裝在所述第二Z軸調節平臺上，所述第二Z軸調節平臺用于帶動所述第二聚焦元件沿著Z軸方向移動，以改變所述第二聚焦元件到待切割的雙層玻璃基板的距離。

6.如權利要求1所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括安裝在所述外殼上的XY二維微調平臺；所述第一聚焦元件安裝在所述XY二維微調平臺上；所述XY二維微調平臺用于帶動所述第一聚焦元件沿著X軸方向或Y軸方向移動。

7.如權利要求1所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述激光切割裝置包括安裝在所述外殼上的CCD成像檢測元件，所述CCD成像檢測元件與所述第二聚焦元件相對設置，且位于所述第二聚焦元件的上方。

8.如權利要求2所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述第一光束整形元件和第二光束整形元件為非球透鏡組合。

9.如權利要求3所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，所述第一反射鏡有兩個，其中一個第一反射鏡設置在所述第一光束整形元件的下方，另一個第一反射鏡設置在所述第一聚焦元件的下方，兩個第一反射鏡之間位于同一水平線上設置。

10.如權利要求9所述的一種雙層玻璃基板的激光切割裝置，其特征在于，第二反射鏡設置在第二聚焦元件上方，且位于第二光束整形元件的右側。