[實用新型]一種晶圓測試用打點裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020790761.2
• 申請日: 2020-05-13
• 公開（公告）號: CN211858593U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顧衛(wèi)民;吳熙文;吳卓鴻;張梅
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫芯啟博科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67;G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 蘇州吳韻知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32364
• 代理人: 朱亮

1.一種晶圓測試用打點裝置，包括機箱（1），其特征在于：所述機箱（1）內(nèi)壁的右側(cè)固定連接有電機（2），所述機箱（1）的頂部固定連接有打點裝置本體（3），所述電機（2）的輸出端固定連接有轉(zhuǎn)動桿（4），所述轉(zhuǎn)動桿（4）的左側(cè)固定連接有第一斜齒輪（5），所述第一斜齒輪（5）的底部設(shè)置有第二斜齒輪（6），所述第二斜齒輪（6）的內(nèi)部固定連接有傳動柱（7），所述第一斜齒輪（5）與第二斜齒輪（6）嚙合，所述機箱（1）的頂部固定連接有固定塊（8），所述傳動柱（7）的頂部貫穿機箱（1）并延伸至固定塊（8）的內(nèi)部固定連接有轉(zhuǎn)動盤（9），所述轉(zhuǎn)動盤（9）的頂部開設(shè)有吸孔（10），所述機箱（1）內(nèi)壁的左側(cè)固定連接有抽風(fēng)機（17），所述抽風(fēng)機（17）的進風(fēng)口連通有連接管（11），所述連接管（11）的頂部連通有定位管（12），所述定位管（12）的頂部與固定塊（8）的內(nèi)壁連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓測試用打點裝置，其特征在于：所述機箱（1）底部的四角均固定連接有支撐腿（13），所述支撐腿（13）的底部固定連接有底板（14）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓測試用打點裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動桿（4）的表面固定連接有固定軸承（15），所述固定軸承（15）的右側(cè)固定連接有定位板（16），所述定位板（16）的底部與機箱（1）固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓測試用打點裝置，其特征在于：所述電機（2）的頂部和底部均固定連接有三角板（18），所述三角板（18）的右側(cè)與機箱（1）固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓測試用打點裝置，其特征在于：所述傳動柱（7）的頂部和底部均固定連接有穩(wěn)固軸承（19），所述穩(wěn)固軸承（19）的外側(cè)與機箱（1）固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓測試用打點裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)動盤（9）的表面固定連接有密封圈（20），所述固定塊（8）的內(nèi)壁開設(shè)有配合槽（21），所述密封圈（20）的表面與配合槽（21）滑動連接。