[實用新型]在線式石英舟裝卸片機

有效

• 申請號: 202020781063.6
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN211789066U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 寧佐強;何鵬;莫計亨
• 申請（專利權）人: 無錫尚品高自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 上海思牛達專利代理事務所(特殊普通合伙) 31355
• 代理人: 丁劍

1.在線式石英舟裝卸片機，其特征在于，包括機架(1)、左人工放置位(2)、右人工放置位(3)、工作位(4)、花籃工作平臺(5)、花籃插片機構(6)、花籃硅片校正機構(7)、插片機構(8)、石英舟傳送機構(9)、石英舟插片機構(10)、石英舟硅片校正機構(11)、石英舟搬運機構(12)和石英舟緩存機構(13)；

所述花籃工作平臺(5)包括手拉滑塊式機構(14)，所述手拉滑塊式機構(14)上設置有橫移模組(15)和限位機構(16)；

所述花籃插片機構(6)包括升降模組a(17)，所述升降模組a(17)上設置有導軌滑塊機構a(19)，所述導軌滑塊機構a(19)上設置有多道插機構a(18)；

所述花籃硅片校正機構(7)包括花插機構(20)和導軌滑塊組合(21)；

所述插片機構(8)包括龍門模組a(22)、滑塊導軌機構(23)、滾珠絲桿機構a(24)、伺服電機a(25)和減速器a(26)；

所述石英舟傳送機構(9)包括導軌滑塊機構b(27)，所述導軌滑塊機構b(27)上設置有滾珠絲桿機構b(28)、伺服電機b(29)、減速器b(30)、石英舟定位機構a(31)和從動輪結構(32)a；

所述石英舟插片機構(10)包括升降模組b(33)和設置在升降模組b(33)上的多道插機構b(34)；

所述石英舟硅片校正機構(11)包括氣缸組機構(35)、正位機構(36)和吹片機構(37)，所述氣缸組機構(35)和正位機構(36)分別設置在吹片機構(37)的下方；

所述石英舟搬運機構(12)包括龍門模組b(38)和設置在龍門模組b(38)上的石英舟勾手機構(39)；

所述石英舟緩存機構(13)包括石英舟定位機構b(40)和設置在石英舟定位機構b(40)上的從動輪結構b(41)。

2.根據權利要求1所述的在線式石英舟裝卸片機，其特征在于，所述花籃工作平臺(5)的數量有兩個。

3.根據權利要求1所述的在線式石英舟裝卸片機，其特征在于，所述橫移模組(15)用來帶動花籃工作平臺(5)在人工放置位和工作位(4)間切換。

4.根據權利要求1所述的在線式石英舟裝卸片機，其特征在于，所述石英舟定位機構a(31)用來定位石英舟的位置，方便與其他機構進行對接。