[實用新型]一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置

有效

• 申請號: 202020774968.0
• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN212255139U
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 劉覲;范眾維;孟利;劉堅鋒;陳宣銀;吳凌康
• 申請（專利權）人: 江西省科學院應用物理研究所
• 主分類號: G01N23/203
• 分類號: G01N23/203;G01N23/2005;G01N1/32;G01N1/28;C25F7/00
• 代理公司: 南昌市平凡知識產權代理事務所 36122
• 代理人: 姚伯川

一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置，包括上固定桿（1）、下固定桿（2）、永磁體（3）和彈簧（4）。所述下固定桿為上端開口下端封閉的中空管狀結構，內壁有內螺紋；所述上固定桿下端有外螺紋，可旋入下固定桿內；永磁體放置在下固定桿中空底部；永磁體上壓有彈簧；上固定桿通過端部螺紋旋入下固定桿并通過彈簧壓緊永磁體。本實用新型磁性固定樣品的側面和底面均可固定鐵磁類樣品，樣品既可水平固定于磁性固定裝置底端，進行陰陽極水平放置的臥式電解拋光，也可垂直固定于磁性固定裝置側面，用于陰陽極垂直放置的立式電解拋光，拋光方式適用性強。

技術領域

本實用新型涉及一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置，屬EBSD試樣制備技術領域。

背景技術

在實際使用中，電子背散射衍射(EBSD)技術使用者常常由于樣品制備不到位，得不到較好的菊池花樣而影響分析數據的獲得。EBSD分析對樣品表面最基本的要求是“新鮮”、無應力、清潔、平整和良好的導電性，遠高于掃描電鏡或金相顯微鏡對樣品的要求，因此EBSD樣品制備難度較高，而微型和薄片狀等特殊EBSD樣品的制備難度就更高。微型和薄片狀等特殊樣品難以手持，采用常規的機械拋光方法存在諸多難度，制樣不容易成功。采用離子束拋光雖然可以得到較好的效果，但離子束拋光設備較為昂貴，使用成本較高，且離子束拋光前需用打孔器將樣品沖制成一定尺寸。電解拋光無需手持，設備廉價，使用成本低，方法簡單，是微型和薄片狀等特殊樣品制備的首選方法。傳統電解拋光過程中一般使用鑷子作為固定樣品的裝置，為了使拋光表面的電流盡量均勻分布以保證較高的拋光質量，應使樣品盡量靠近鑷腿端部，以降低鑷腿對拋光表面的遮擋和影響。然而微型和薄片狀樣品受到尺寸的限制，兩個鎳腿端部不可避免會擋住樣品拋光表面，影響拋光表面的電流分布，在拋光表面靠近捏腿附近形成厚厚的鈍化膜，即夾持影響區，夾持影響區常常覆蓋樣品大部分表面，導致制樣失敗。另一方面，目前電解拋光通常使用的鑷子之類的夾具在固定微型和薄片狀等特殊尺寸樣品時效果不理想，在拋光過程中時常發生樣品脫落、變形、移位等意外，導致拋光效果不理想甚至失敗。

公開號CN 110658223 A公開了一種片狀試樣的電子背散射衍射制樣輔助裝置，將樣品鑲嵌后進行機械或者電解拋光，然后再將樣品取出進行EBSD測試，鑲嵌料主要成分為高分子材料，導電性有限，因此樣品電解拋光的難度大大增加，而拋光效果卻不夠理想。

通過磁力吸附原理固定樣品進行電解拋光樣，是一種裝置簡單，操作簡便，成本低廉，適用性廣，制樣效率高的制備微型和薄片狀EBSD試樣的方法，本實用新型提供了一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置，解決具有磁性的微型和薄片狀等特殊尺寸樣品，在電解拋光過程中與陽極穩定連接的難題。

本實用新型實現的技術方案如下，一種電解拋光制備EBSD試樣的磁性固定裝置，包括上固定桿、下固定桿、永磁體和彈簧。所述下固定桿為上端開口下端封閉的中空管狀結構，上端內壁有內螺紋；所述上固定桿下端有外螺紋，可旋入下固定桿內，與下固定桿上端的內螺紋緊密連接；永磁體放置在下固定桿內部；彈簧放置在下固定桿內部，置于永磁體上；上固定桿通過端部螺紋旋入下固定桿并通過彈簧將永磁體緊密壓在下固定桿底部。

所述永磁體為一圓柱體結構，其直徑小于下固定桿內螺孔的孔徑。

所述上固定桿為橫截面為圓形的桿狀結構。

所述下固定桿為橫截面為正方形的桿狀結構，沿下固定桿的長度方向，下固定桿一端的中心開有徑向圓孔并攻有螺紋，圓孔不貫穿整個桿長，底部保留厚度為1～3mm。

本實用新型利用磁性原理將樣品進行固定，可實現任何形狀磁性樣品的固定，尤其是解決了微型和薄片狀樣品不易固定的難題，結構簡單、操作簡易、不易脫落、不會導致樣品變形。