[實用新型]一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器

有效

• 申請號: 202020769911.1
• 申請日: 2020-05-11
• 公開（公告）號: CN212161827U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發明（設計）人: 滿錦夢
• 申請（專利權）人: 深圳激子科技有限公司
• 主分類號: H01L31/0232
• 分類號: H01L31/0232;H01L31/09;G02B5/00;B82Y40/00
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 劉紅陽

1.一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：包括自下而上依次層疊設置的硅襯底、二氧化硅層、石墨烯微納陣列和介質層；所述石墨烯微納陣列和介質層位于二氧化硅層中間位置；所述二氧化硅層和介質層表面覆蓋有石墨烯層；所述石墨烯層兩側分別設置有電極一和電極二。

2.根據權利要求1所述的一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述硅襯底的背面上涂覆有金屬層。

3.根據權利要求1所述的一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述石墨烯微納陣列為周期性排列的納米帶、納米環或納米圓盤中的一種。

4.根據權利要求1所述的一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述石墨烯層的層數為單層。

5.根據權利要求1所述的一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述石墨烯微納陣列可以通過化學摻雜來調節石墨烯微納結構的化學勢從而調制其等離子共振吸收的光譜范圍。

6.根據權利要求1所述的一種基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述介質層為良好絕緣性的材料，阻擋電荷泄露，如六方氮化硼或其他高介電常數金屬氧化物材料。

7.根據權利要求1所述的基于等離激元增強的石墨烯中紅外光探測器，其特征在于：所述電極一和電極二為蝴蝶形天線電極，電極一和電極二由金、鈦、鉻、鎳中單種金屬電極或兩種或多種金屬復合構成。