[實用新型]一種搬運工裝

有效

• 申請號: 202020762738.2
• 申請日: 2020-05-09
• 公開（公告）號: CN212192680U
• 公開（公告）日: 2020-12-22
• 發明（設計）人: 魏聰;張平;鄒宇
• 申請（專利權）人: 江蘇天科合達半導體有限公司;北京天科合達半導體股份有限公司
• 主分類號: B24B41/00
• 分類號: B24B41/00;B65G47/91
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 宋天凱

本實用新型公開一種搬運工裝，包括工裝本體，所述工裝本體設有承載部，用于承載待搬運工件，所述工裝本體還安裝有可動作的真空機械臂，所述真空機械臂設有真空吸盤，用于抓取所述待搬運工件。采用這種方案，在需要對待搬運工件進行搬運時，可以由真空機械臂的真空吸盤來吸附抓取待搬運工件，以將待搬運工件搬上或者搬下承載部，這樣，可以避免人工搬運勞動強度大、人工成本高、安全性差等問題，同時，也可以較大程度地避免操作人員的手接觸待搬運工件而對待搬運工件造成污染。

技術領域

本實用新型涉及搬運器械技術領域，具體涉及一種搬運工裝。

背景技術

在碳化硅晶片的拋光工序，需要將貼合有碳化硅晶片的陶瓷板搬上拋光機，拋光結束后，還要將陶瓷板自拋光機搬下，目前，陶瓷板的搬上、搬下主要是依靠人工搬運。然而，單個陶瓷板的重量普遍在十五公斤左右，人工搬運勞動強度大，且安全性差，一旦失手脫落，對于產品和操作人員都有可能造成損害，另外，在搬運過程中，操作人員的手容易接觸到晶片，有可能對晶片造成污染，尤其是在拋光結束后。

因此，如何提供一種方案，以克服或緩解上述缺陷，仍是本領域技術人員亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種搬運工裝，可以減輕人工勞動強度，安全性較高，且可以較大程度地避免對于待搬運工件造成污染。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種搬運工裝，包括工裝本體，所述工裝本體設有承載部，用于承載待搬運工件，所述工裝本體還安裝有可動作的真空機械臂，所述真空機械臂設有真空吸盤，用于抓取所述待搬運工件。

采用這種方案，在需要對待搬運工件進行搬運時，可以由真空機械臂的真空吸盤來吸附抓取待搬運工件，以將待搬運工件搬上或者搬下承載部，這樣，可以避免人工搬運勞動強度大、人工成本高、安全性差等問題，同時，也可以較大程度地避免操作人員的手接觸待搬運工件而對待搬運工件造成污染。

可選地，所述承載部的數量為多個，各所述承載部沿上下方向間隔分布。

可選地，還包括升降組件和搬運臺，所述搬運臺安裝于所述工裝本體，所述升降組件與各所述承載部均傳動連接，用于驅使所述承載部進行升降，所述承載部與所述搬運臺相平齊時，所述待搬運工件能夠在相平齊的所述承載部和所述搬運臺之間進行轉運。

可選地，所述待搬運工件與所述搬運臺之間設有導向結構。

可選地，還包括監測部件，用于監測所述承載部是否與所述搬運臺相平齊。

可選地，所述升降組件包括驅動電機和絲桿，所述驅動電機與所述絲桿傳動連接，所述絲桿能夠驅使各所述承載部進行升降。

可選地，還包括移位機構，所述真空機械臂安裝于所述移位機構，所述移位機構能夠控制所述真空機械臂進行線性位移或者轉動。

可選地，所述工裝本體還安裝有把手，所述工裝本體的下端還安裝有滾輪。

可選地，所述工裝本體還安裝有真空源，所述真空源與所述真空機械臂的抽真空口相連。

附圖說明

圖1為本實用新型所提供搬運工裝的一種具體實施方式的結構示意圖。

圖1中的附圖標記說明如下：

1工裝本體、11承載部、12升降組件、121驅動電機、122絲桿、13把手、14滾輪；

2真空機械臂、21真空吸盤；

3搬運臺；

4監測部件；

5移位機構。

具體實施方式