[實用新型]一種低敏感度粗波分復用濾光片有效

申請號：	202020749940.1	申請日：	2020-05-09
公開（公告）號：	CN212111852U	公開（公告）日：	2020-12-08
發明（設計）人：	向久成;秦明海	申請（專利權）人：	蘇州東輝光學有限公司
主分類號：	G02B5/28	分類號：	G02B5/28;G02B6/293
代理公司：	廣州市紅荔專利代理有限公司 44214	代理人：	唐婷婷
地址：	215000 江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種敏感度粗波分復用濾光
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【權利要求書】：

1.一種低敏感度粗波分復用濾光片，其特征在于，包括：

玻璃基板；

波分復用膜層，所述波分復用膜層設置在所述玻璃基板的一側，所述波分復用膜層包括50層Ta₂O₅膜層和50層SiO₂膜層，Ta₂O₅膜層和SiO₂膜層交替疊加設置；及

增透膜層，所述增透膜層設置在所述玻璃基板的另一側，所述增透膜層包括2層Ta₂O₅膜層和2層SiO₂膜層，Ta₂O₅膜層和SiO₂膜層交替疊加設置。

2.根據權利要求1所述的一種低敏感度粗波分復用濾光片，其特征在于：所述波分復用膜層自玻璃基板側的膜層結構為HL HL H 2L 3H LH LH LHL 3HL H3L 2H 3LH LH LH LHLHL HL H 2L H L3H LH 3LH LHL HHL H 2L H 3LH LH LH LHL HL HL H 2L H L3H LH 3LHLHL 3HL H3L 2H 3LH LH LH LHL HL H 2L 3H LH LH L；其中，H表示Ta₂O₅膜層，L表示SiO₂膜層。

3.根據權利要求1所述的一種低敏感度粗波分復用濾光片，其特征在于：所述增透膜層自玻璃基板側的膜層結構為HLHL；其中，H表示Ta₂O₅膜層，L表示SiO₂膜層。

4.根據權利要求1所述的一種低敏感度粗波分復用濾光片，其特征在于：所述玻璃基板為雙面拋光的玻璃片所述玻璃基板的厚度0.3mm～1.2mm。

5.根據權利要求1所述的一種低敏感度粗波分復用濾光片，其特征在于：所述波分復用膜層中Ta₂O₅膜層的厚度為H＝λ/4n_H，SiO₂膜層的厚度為L＝λ/4n_L；其中，H表示Ta₂O₅膜層，n_H表示Ta₂O₅的折射率，L表示SiO₂膜層，n_L表示SiO₂的折射率，λ表示監控光波長。