[實(shí)用新型]一種熱氮烘干機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020745008.1
• 申請(qǐng)日: 2020-05-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213657373U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊仕品;黃文隆
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 智程半導(dǎo)體設(shè)備科技（昆山）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F26B11/18
• 分類(lèi)號(hào): F26B11/18;F26B21/14;F26B25/00;F26B21/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種熱氮干燥機(jī)，其特征在于：包括干燥機(jī)主體、托盤(pán)、驅(qū)動(dòng)所述托盤(pán)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件以及用于輸出熱氮的熱氮組件，所述干燥機(jī)主體包括干燥機(jī)壁、干燥機(jī)底板和干燥機(jī)蓋，所述干燥機(jī)壁、干燥機(jī)底板與干燥機(jī)蓋構(gòu)成干燥倉(cāng)，所述熱氮組件具有用于噴出熱氮的噴嘴，所述噴嘴固定于所述托盤(pán)，且所述托盤(pán)和所述噴嘴均位于所述干燥倉(cāng)內(nèi)。

2.如權(quán)利要求1所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述干燥機(jī)底板上有多個(gè)排氣孔。

3.如權(quán)利要求2所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述干燥機(jī)主體還包括用于遮擋排氣孔以調(diào)節(jié)排氣速率的滑動(dòng)擋板，所述滑動(dòng)擋板與所述干燥機(jī)底板滑動(dòng)連接。

4.如權(quán)利要求1所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述干燥機(jī)蓋和所述干燥機(jī)壁之間還設(shè)有開(kāi)合裝置，使所述干燥機(jī)蓋轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述干燥機(jī)壁。

5.如權(quán)利要求1所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述托盤(pán)位于所述干燥倉(cāng)中央，所述托盤(pán)與所述干燥機(jī)底板通過(guò)托盤(pán)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

6.如權(quán)利要求5所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述托盤(pán)軸軸向延伸至所述干燥機(jī)底板的底側(cè)且與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)件連接。

7.如權(quán)利要求1所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述熱氮組件還包括垂直熱氮管與水平熱氮管。

8.如權(quán)利要求7所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述水平熱氮管與所述垂直熱氮管上均安裝有多個(gè)所述噴嘴。

9.如權(quán)利要求7所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述垂直熱氮管有多根，且周向均勻分布在所述托盤(pán)外周；所述水平熱氮管有多根，且設(shè)置于所述干燥機(jī)蓋的內(nèi)側(cè)。

10.如權(quán)利要求7所述的熱氮干燥機(jī)，其特征在于：所述水平熱氮管的角度可調(diào)節(jié)，以調(diào)節(jié)水平熱氮管的氮?dú)廨敵鼋嵌取?/p>