[實用新型]一種分離式防著板

有效

• 申請號: 202020744195.1
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN212834001U
• 公開（公告）日: 2021-03-30
• 發明（設計）人: 梅德忠
• 申請（專利權）人: 德潤達智能科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 合肥信誠兆佳知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34159
• 代理人: 尉敏

本實用新型公開了一種分離式防著板，包括主板，所述主板對稱設置兩塊，所述主板的兩側設置兩塊對稱的側板，所述主板周向設置塊角板，所述主板、側板和角板在同一平面上，所述主板、側板和角板相互接觸且連接在一起。采用了更加穩定的固定方式，并且設置可拆卸的網板，且網板拆卸安裝十分簡單，不需要用到工具的輔助，具備較大的實用性。

技術領域

本實用新型特別涉及一種分離式防著板。

背景技術

在真空濺鍍沉積的過程中，濺射出的靶材原子或大尺寸的顆粒，會最終飛向濺射機的內壁表面，影響其清潔。為此，在濺射機的結構中加入了防著板，常規的防著板裝置設計在反應室內除玻璃基板外可濺射到的區域，一般為靶材四周及玻璃基板四周區域，現在市場已經出現了可以拆分的防著板結構，相比較傳統的整塊防著板具備一定的好處，但是仍然存在這固定方式簡單導致的不穩定以及網板拆卸安裝麻煩等問題，針對于此，本實用新型提出了一種分離式防著板，采用了更加穩定的固定方式，并且網板拆卸安裝十分簡單，不需要用到工具的輔助。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的在于提供一種分離式防著板，包括主板，所述主板對稱設置兩塊，所述主板的兩側設置兩塊對稱的側板，所述主板周向設置塊角板，所述主板、側板和角板在同一平面上，所述主板、側板和角板相互接觸且連接在一起，所述對稱設置的主板緊貼連接，且在接觸側面設置有卡槽，所述側板在與所述主板接觸連接處設置有卡條，所述卡條與所述卡槽相適配，所述側板設置為等腰梯形結構，所述等腰梯形的窄邊朝向主板一側，所述角板設置為直角梯形，所述角板與所述側板相適配，所述主板設置鎖緊機構與所述角板連接，所述角板設置與所述鎖緊機構配合使用的開孔，所述角板上均設置有圓形卡扣，所述圓形卡扣上設置有網板，所述網板能夠拆卸。

具體的，所述主板的卡槽內設置有磁鐵塊，所述磁鐵塊與所述卡槽相適配，且所述磁鐵塊設置并排的多個。

具體的，所述鎖緊機構包括內六角螺母，所述內六角螺母上套接有移動環，所述移動環與所述內六角螺母同步移動固定安裝，所述移動環的兩側連接有推桿一端，所述推桿另一端連接有長桿，所述內六角螺母的尾部設置有螺紋孔，所述長桿與所述推桿通過銷軸連接可以轉動，所述移動環與所述推桿轉動連接。

具體的，所述網板在圓形卡扣位置上設置對應的控制按鈕，所述控制按鈕包括按鈕，所述按鈕安裝在控制主體上，所述按鈕下表面連接有加長桿，所述加長桿下設置有按板，所述按板底面設置有彈簧，所述彈簧設置在控制主體的內底面上，所述按板的兩端連接有卡桿，所述卡桿可以伸出所述控制主體，所述控制主體內設置有固定位置的支桿，所述支桿位于所述卡桿的腰形槽中且卡桿的腰形槽可沿支桿移動。

具體的，所述網板設置為矩形。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：通過網板防止裝置產生破碎后傷人的問題，并且所述網板拆卸安裝都十分簡單，不需要工具的輔助，并且所述主板、側板和角板的安裝固定方式也進行了更新，更加穩定，增加磁鐵塊具備一定磁場從而提高等離子體的運動路程，使得濺射原子在防著板表面附著更加均勻。

附圖說明

圖1本實用新型拆分結構示意圖；

圖2本實用新型整體結構示意圖；

圖3本實用新型增加網板后結構示意圖；

圖4本實用新型主板與側板連接結構示意圖；

圖5本實用新型主板鎖緊機構結構示意圖；

圖6本實用新型控制按鈕結構示意圖；

圖7本實用新型控制按鈕按下按鈕后結構示意圖。