[實用新型]一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置

有效

• 申請號: 202020742401.5
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN212855260U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 楊敏杰;詹樹忠
• 申請（專利權）人: 湛江盛溢科技有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D46/24;F27D17/00
• 代理公司: 北京匯眾通達知識產權代理事務所(普通合伙) 11622
• 代理人: 耿猛

1.一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，包括箱體（1），其特征在于：所述箱體（1）的內部設置有廢氣水浴處理腔（2）和余熱利用腔（3），所述廢氣水浴處理腔（2）的內頂壁開設有進料口，且該進料口的上表面通過法蘭連接有密封蓋（4），所述箱體（1）的上表面固定連接有過濾多晶硅廢氣中較大顆粒的過濾罐（5），所述過濾罐（5）的上表面法蘭連接有罐蓋（6），所述罐蓋（6）的頂端固定連接有廢氣輸送管（7），所述過濾罐（5）的內底壁固定連接有連接管（8），所述連接管（8）的底端延伸至廢氣水浴處理腔（2）的內部，所述箱體（1）的兩側分別固定連接有進水管（9）和出水管（10），所述進水管（9）的出水端和出水管（10）的進水端均延伸至余熱利用腔（3）的內部。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于：所述密封蓋（4）的上表面開設有觀察窗口（11），所述觀察窗口（11）的內壁固定連接有透明玻璃。

3.根據權利要求1所述的一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于：所述廢氣水浴處理腔（2）的內側壁設置有高液位傳感器，且廢氣水浴處理腔（2）的內部設置有堿液，所述余熱利用腔（3）的內側壁設置有溫度感應器。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于：所述廢氣水浴處理腔（2）的內底壁固定連接有用于排出堿液的出液管（12），所述出液管（12）的外表面設置有控制閥。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于：所述過濾罐（5）的內壁固定連接有限位環（13），所述限位環（13）的上表面放置有過濾網（14）。

6.根據權利要求1所述的一種多晶硅廢氣處理與余熱利用裝置，其特征在于：所述箱體（1）的側面固定連接有液封水槽（15），所述箱體（1）的上表面固定連接有出氣管（16），所述出氣管（16）的進氣端延伸至廢氣水浴處理腔（2）的內部，且出氣管（16）的出氣端延伸至液封水槽（15）的內部。