[實用新型]一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置

有效

• 申請號: 202020741206.0
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN211670172U
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 陽熊
• 申請（專利權）人: 四川科爾威光電科技有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 成都慕川專利代理事務所(普通合伙) 51278
• 代理人: 楊艷

1.一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，包括托盤(1)和運動小車(2)，其特征在于，還包括設置于運動小車(2)上的散熱盤(3)；所述散熱盤(3)包括與運動小車(2)固定連接的底板(4)，設置于底板(4)上的擾流帶(5)，設置于擾流帶(5)上的頂板(6)，設置于頂板(6)上并貫穿至擾流帶(5)的導軌式散熱片(7)；所述托盤(1)包括內部具有空腔的托盤本體(8)，設置于托盤本體(8)的空腔內并與托盤本體(8)的頂板內側固定連接的水循環管路(9)，設置于托盤本體(8)側壁與水循環管路(9)連通的冷卻水進出接頭，以及開設于托盤本體(8)的底板上的滑槽(10)與散熱孔(11)；其中，所述滑槽(10)與導軌式散熱片(7)適配。

2.根據權利要求1所述的一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，其特征在于，所述冷卻水進出接頭設置為相互匹配的公頭(12)和母頭(13)。

3.根據權利要求2所述的一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，其特征在于，所述擾流帶(5)與底板(4)和頂板(6)通過釬焊的方式固定焊接。

4.根據權利要求3所述的一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，其特征在于，所述導軌式散熱片(7)設置有三條，所述滑槽(10)對應設置有三條。

5.根據權利要求4所述的一種散熱效果好的離子束刻蝕承載裝置，其特征在于，所述托盤本體(8)的兩側壁上還設置有把手耳(14)。