[實用新型]一種使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機

有效

• 申請號: 202020736712.0
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN213327836U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 危彩良;邵朱林;柳志波
• 申請（專利權）人: 廣東微應變傳感科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08
• 代理公司: 河源市華標知識產權代理事務所(普通合伙) 44670
• 代理人: 郝紅建;石其飛

1.一種使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，包括機箱和噴頭，機箱上設有工作臺面，工作臺面上設有噴射工位，噴射工位上設有噴射腔，噴頭設在噴射腔內，其特征在于，所述機箱內設有擺動機構，噴頭與擺動機構連接，由擺動機構帶動噴頭在噴射腔內來回擺動。

2.根據權利要求1所述的使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，其特征在于，所述擺動機構包括驅動裝置、連桿、固定座，固定座內設有轉動軸，噴頭通過固定桿與轉動軸連接，連桿一端與驅動裝置連接，連桿的另一端與固定桿連接，驅動裝置通過連桿帶動噴頭以轉動軸為中心擺動。

3.根據權利要求2所述的使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，其特征在于，所述驅動裝置包括電機，電機的驅動軸上裝有主動齒輪，主動齒輪嚙合連接從動齒輪，連桿一端裝在從動齒輪的偏心位置，連桿的另一端與固定桿連接，從動齒輪轉動過程中通過連桿帶動噴頭以轉動軸為轉動支點擺動。

4.根據權利要求2所述的使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，其特征在于，所述驅動裝置包括驅動電機和轉輪，轉輪與驅動電機的驅動軸連接，連桿一端裝在轉輪的偏心位置，連桿的另一端與固定桿連接。

5.根據權利要求3或4所述的使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，其特征在于，所述機箱內設有基座，基座內設有頂升氣缸，基座上設有頂板，驅動裝置和固定座均裝在頂板上。

6.根據權利要求5所述的使應變計阻值蝕刻集中的蝕刻機，其特征在于，所述基座內設有導向柱，導向柱活動穿過頂板。