[實(shí)用新型]用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020736640.X
• 申請日: 2020-05-08
• 公開（公告）號: CN211700233U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金昆根;張海娟
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州翔烽科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 杭州融方專利代理事務(wù)所(普通合伙) 33266
• 代理人: 沈相權(quán)

本實(shí)用新型公開了用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置，本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體腔體組件晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，包括框體，所述框體下端固定安裝有底座，所述框體一側(cè)活動(dòng)安裝有框門，所述框門一側(cè)中間處固定安裝有拿捏把手，所述框體上表面中間位置處活動(dòng)連接有活動(dòng)柱，所述活動(dòng)柱上端固定安裝有承載圓盤，所述框體前表面靠近下端中間位置處固定安裝有伺服電機(jī)，所述框體前表面靠近上端中間位置處固定安裝有控制面板。該裝置不僅能夠?qū)崿F(xiàn)對承載圓盤的升降效果，并通過刻度線對升降高度有效控制，便于半導(dǎo)體腔體組件晶圓進(jìn)行檢測加工，也能夠快速有效的完成對半導(dǎo)體腔體組件晶圓的固定，便于操作人員進(jìn)行操作處理，加快工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體腔體組件晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置。

背景技術(shù)

晶圓指制造半導(dǎo)體晶體管或集成電路的襯底，由于是晶體材料，其形狀為圓形，所以稱為晶圓，襯底材料有硅、鍺、GaAs、InP、GaN等，由于硅最為常用，如果沒有特別指明晶體材料，通常指硅晶圓，在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品，晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，鹽酸氯化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅。

半導(dǎo)體腔體組件晶圓在加工檢測過程中，需要一個(gè)指定的承載裝置對其進(jìn)行升降處理，便于對其進(jìn)行檢測加工處理，但現(xiàn)有的承載裝置在使用過程中，沒有較好的升降機(jī)構(gòu)，導(dǎo)致對半導(dǎo)體腔體組件晶圓進(jìn)行檢測時(shí)，極為不便，需要外部操作人員進(jìn)行人工處理，會(huì)耗損施工人員大量的工作時(shí)間。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置，解決了現(xiàn)有的承載裝置在使用過程中，沒有較好的升降機(jī)構(gòu)的問題。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置，包括框體，所述框體下表面固定安裝有底座，所述框體一側(cè)外表面活動(dòng)安裝有框門，所述框門外表面一側(cè)中間處固定安裝有拿捏把手，所述框體上表面中間位置處活動(dòng)連接有活動(dòng)柱，所述活動(dòng)柱上表面固定安裝有承載圓盤，所述框體前表面靠近下端中間位置處固定安裝有伺服電機(jī)，所述框體前表面靠近上端中間位置處固定安裝有控制面板，所述伺服電機(jī)輸出端固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸環(huán)形外表面一側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，所述框體內(nèi)部中間位置處轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接軸，所述連接軸一端固定安裝有傳動(dòng)齒輪，所述傳動(dòng)齒輪外表面一側(cè)固定安裝有連接塊，所述連接塊內(nèi)部中間位置處開設(shè)有第一連接槽，所述活動(dòng)柱底部中間位置處開設(shè)有第二連接槽，所述第一連接槽和第二連接槽之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接桿。

優(yōu)選的，所述活動(dòng)柱環(huán)形外表面刻有刻度線，所述承載圓盤上表面兩側(cè)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有活動(dòng)軸，所述活動(dòng)軸上表面固定安裝有限位板。

優(yōu)選的，所述限位板內(nèi)部一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有緊固桿，所述緊固桿下端外表面固定安裝有橡膠軟球。

優(yōu)選的，所述橡膠軟球采用橡膠材質(zhì)，所述緊固桿環(huán)形外表面開設(shè)有外螺紋，所述緊固桿與限位板之間螺紋式連接。

優(yōu)選的，所述限位板內(nèi)部開設(shè)有供緊固桿活動(dòng)的槽口，槽口內(nèi)部開設(shè)有內(nèi)螺紋。

優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪與傳動(dòng)齒輪嚙合連接，所述連接桿分別與第一連接槽和第二連接槽之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)軸。

優(yōu)選的，所述伺服電機(jī)與外部電源和控制面板之間電性連接，所述拿捏把手環(huán)形外表面包裹有橡膠軟墊，橡膠軟墊環(huán)形外表面開設(shè)有防滑紋，所述框體內(nèi)部開設(shè)有供活動(dòng)柱活動(dòng)的槽口。

有益效果

本實(shí)用新型提供了用于半導(dǎo)體腔體組件晶圓升降裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：